原子發射光譜儀由光源、單色器、檢測器和獨處器件這幾部分組成。利用物質在熱激發或電激發下，每種元素的原子或離子發射特徵光譜來判斷物質的組成，而進行元素的定性與定量分析的。原子發射光譜法可對約70種元素（金屬元素及磷、矽、砷、碳、硼等非金屬元素）進行分析。在一般情況下，用於1%以下含量的組份測定，檢出限可達ppm，精密度為±10%左右，線性範圍約2個數量級。這種方法可有效地用於測量高、中、低含量的元素。擴充套件資料原子發射光譜法包括了三個主要的過程，即：1、由光源提供能量使樣品蒸發、形成氣態原子、並進一步使氣態原子激發而產生光輻射；2、將光源發出的複合光經單色器分解成按波長順序排列的譜線，形成光譜；3、用檢測器檢測光譜中譜線的波長和強度。由於待測元素原子的能級結構不同，因此發射譜線的特徵不同，據此可對樣品進行定性分析；而根據待測元素原子的濃度不同，因此發射強度不同，可實現元素的定量測定。原子發射光譜是指由於物質內部運動的原子和分子受到外界能量後發生變化而得到的。