精度（Accuracy）:它指零部件的實際幾何形體與理想幾何形體相接近的程度，包括尺寸、形狀、相互位置的精度。幾何量的加工誤差：尺寸誤差、形狀誤差、位置誤差、表面粗糙度、表面波紋度。(1)尺寸誤差(Size error):加工後零件的實際尺寸與理想尺寸的差值。如直徑誤差、長度誤差等。(2) 形狀誤差(Form Error)加工後零件的實際表面形狀對其理想形狀的偏離量。形狀誤差是從整體形狀看待在形狀方面存在的誤差，又稱為宏觀幾何形狀誤差。如圓度、直線度。(3) 位置誤差(Position Error)加工後零件的實際位置對其理想位置的偏離量。例如同軸度、垂直度。(4) 表面粗糙度(Surface Roughness) 零件加工表面上具有較小間距和峰谷所形成的微量高低不平的痕跡。特點是具有微小的波形，稱為微觀幾何形狀誤差—微觀高低不平的微波形。（5）表面波紋度：介於宏觀和微觀幾何形狀誤差之間的一種表面形狀誤差。特點是峰谷和間距要比表面粗糙度大得多，並且在零件表面呈週期性變化。