檢測平整度用的是空氣劈尖干涉原理,當光垂直入射時,在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉,當光波的光程差為波長的整數倍時,形成明條紋,為半波長的奇數倍時,形成暗條紋.而光程差取決於空氣層的厚度,空氣層厚度相同的位置明暗紋情況相同,若工件不平整,則條紋會凸起.向左向右都是可能的,關鍵是看不平整的是凸起還是凹陷~手壓玻璃板時,空氣層厚度改變,故條紋移動~左凸的原因是工件表面有凹陷（凸起）,凹陷（凸起）處空氣層厚度和其左邊工件平面上的空氣厚度相同,故條紋向左凸

利用光的干涉來檢測物體表面的平整度可以用一個標準平板在上方，待測平板在下方，組成空氣劈尖。如果待測平板表面不平整，產生的等厚干涉條紋就會發生彎曲。

根據薄膜干涉的道理，可以測定平面的平直度．測定的精度很高，甚至幾分之一波長那麼小的隆起或下陷都可以從條紋的彎曲上檢測出來．若使兩個很平的玻璃板間有一個很小的角度，就構成一個楔形空氣薄膜，用已知波長的單色光入射產生的干涉條紋，可用來測很小的長度．

檢測平整度用的是空氣劈尖干涉原理,當光垂直入射時,在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉,當光波的光程差為波長的整數倍時,形成明條紋,為半波長的奇數倍時,形成暗條紋.而光程差取決於空氣層的厚度,空氣層厚度相同的位置明暗紋情況相同,若工件不平整,則條紋會凸起.向左向右都是可能的,關鍵是看不平整的是凸起還是凹陷~ 手壓玻璃板時,空氣層厚度改變,故條紋移動~ 左凸的原因是工件表面有凹陷（凸起）,凹陷（凸起）處空氣層厚度和其左邊工件平面上的空氣厚度相同,故條紋向左凸

一般檢測平面的平整度用平行平晶來檢測，平行平晶的面積都不會做太大（面積越大加工工藝越複雜成本越高），也就是說通常平行平晶的面積是小於待測樣品面積的，被檢查平面放在下面，平晶放在上面移動，這樣操作比較方便。

打個比方：是把A3的紙放在16k的紙上移動方便，還是把16k的紙放在A3的紙上移動方便？

就是這個道理，對不對？：）