1）一片表面光滑，沒有任何雜質的玻璃，是製造TFT玻璃基板最主要的原料。在製作之前，需用特殊的冼淨液，將玻璃洗得乾乾淨淨，然後脫水，甩幹。

　　2）要使玻璃基板鍍上金屬薄膜，需先將金屬材料放在真空室內，讓金屬上面的特殊氣體產生電漿後，金屬上的原子就會被撞向玻璃，然後就形成一層層的金屬薄膜了。

　　3）鍍完金屬膜後，我們還要鍍上一層不導電層與半導電層，在真空室內，先將玻璃板加溫，然後由高壓電的噴灑器噴灑特殊氣體，讓電子與氣體產生電漿，經過化學反應後，玻璃上就形成了不導電層與半導體層。

　　4）薄膜形成後，我們要在玻璃上製作電晶體的圖案。首先，要進入黃光室噴上感光極強的光阻液，然後套上光罩照射藍紫光進行曝光，最後送到顯影區噴灑顯影液，這樣可以去除照光後的光阻，還可以讓光阻層定型哦。

　　5）光阻定型後，我們可用蝕刻進行溼式蝕刻，將沒有用的薄膜露出，也可用電漿的化學反應進行乾式蝕刻，蝕刻後再將留下的光阻以溜液去除，最後就產生電晶體所需要的電路圖案了。

　　6）要形成可用的薄膜電晶體，需要重複清洗，鍍膜，上光阻，曝光，顯影，蝕刻，去光阻等過程，一般來說，要製造TFT-LCD，就要重複5到7次。