光柵尺的解析度是透過譜線的半形寬度△θ來表徵的 ，△θ＝λ/(Nd*cosθ),其中△θ是半形寬度，指的是衍射斑的角半徑，N是光柵總縫數，d是光柵常數，θ是衍射角。

常用解析度：單位均為（畫素/釐米）

解析度是光柵尺可以識別的最小變化量，例如1um，0,5um的光柵尺。你看不到光柵尺0.2個單位變化。解析度一般等同於重讀精度。精度，包括了安裝精度，讀數頭的電子細分誤差，光柵尺的光柵刻劃誤差。舉個栗子：5um每米。一般的表達方式。

一般說來，光柵的解析度是透過譜線的半形寬度△θ來表徵的 ，△θ＝λ/(Nd*cosθ),其中△θ是半形寬度，指的是衍射斑的角半徑，N是光柵總縫數，d是光柵常數，θ是衍射角。 常用解析度：單位均為（畫素/釐米），切不記錯。