審計證據的程式有檢查、觀察、詢問、函證、重新計算、重新執行、分析程式。

檢查：是指註冊會計師對被審計單位內部或外部生成的，以紙質、電子或其他介質形式存在的記錄或檔案進行審查，或對資產進行實物審查。

觀察：是指註冊會計師察看相關人員正在從事的活動或實施的程式。

詢問：是指註冊會計師以書面或口頭方式，向被審計單位內部或外部的知情人員獲取財務資訊和非財務資訊，並對答覆進行評價的過程。

函證：是指註冊會計師直接從第三方(被詢證者)獲取書面答覆以作為審計證據的過程，書面答覆可以採用紙質、電子或其他介質等形式。

重新計算：是指註冊會計師對記錄或檔案中的資料計算的準確性進行核對。

重新執行：是指註冊會計師獨立執行原本作為被審計單位內部控制組成部分的程式或控制。

分析程式是指註冊會計師透過分析不同財務資料之間以及財務資料與非財務資料之間的內在關係，對財務資訊作出評價;分析程式還包括必要時調查識別出的、與其他相關資訊不一致或與預期值嚴重偏離的波動和關係。