(1)熟悉系統：要詳細瞭解系統狀態及各種引數，繪出工藝流程圖或佈置圖。 

(2)調查事故：收集事故案例，進行事故統計，設想給定系統可能發生的事故。 

(3)確定頂上事件：要分析的物件即為頂上事件。對所調查的事故進行全面分析，從中找出後果嚴重且較易發生的事故作為頂上事件。 

(4)確定目標值：根據經驗教訓和事故案例，經統計分析後，求解事故發生的機率(頻率)，以此作為要控制的事故目標值。 

(5)調查原因事件：調查與事故有關的所有原因事件和各種因素。

 (6)畫出故障樹：從頂上事件起，逐級找出直接原因的事件，直至所要分析的深度，按其邏輯關係，畫出故障樹。

 (7)分析：按故障樹結構進行簡化，確定各基本事件的結構重要度。 

(8)事故發生機率：確定所有事故發生機率，標在故障樹上，並進而求出頂上事件(事故)的發生機率。

 (9)比較：比較分可維修系統和不可維修系統進行討論，前者要進行對比，後者求出頂上事件發生機率即可。 

(10)分析：原則上是上述10個步驟，在分析時可視具體問題靈活掌握，如果故障樹規模很大。

目前系統安全分析法有20餘種，其中常用的分析法是： （1）安全檢查表（safety check list） （2）初步危險分析（PHA） （3）故障型別、影響及致命度分析（FMECA） （4）事件要分析（ETA） （5）事故樹分析（FTA）