真鍍膜機是現在製造真空條件使用最為廣泛的裝置。其有關構成及各部件:機械泵、增壓泵、油分散泵、冷凝泵、真空丈量系統.
真鍍膜機原理 真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD鐳射濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
真空鍍膜機各部分的組成
一、真空主體——真空腔 依據加工商品請求的各異,真空腔的大小也不一樣,現在使用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼資料製造,請求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有銜接閥,用來銜接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統 此排氣系統選用“分散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”構成排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA擺佈的低真空狀況,為分散泵後繼抽真空供給條件,以後當分散泵抽真空腔的時分,機械泵又配合油分散泵構成串聯,以這麼的方式完成抽氣動作。
排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,首要有由機械泵、增壓泵(首要介紹羅茨泵)、油分散泵三大多數構成。
機械泵:也叫前級泵,機械泵是使用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來堅持密封效果並依託機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷脹大然後取得真空。
機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此首要使用於大型裝置)、活塞往復式、定片式和旋片式(此現在使用最廣泛,這篇文章首要介紹)四種類型。
機械泵常常被用來抽除乾燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵通常被用來抽除永久性的氣體,可是對水汽沒有好的效果,所以它不能抽除水汽。旋片泵中起首要效果的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裡邊但與定子不一樣心軸,象兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈片中心裝有繃簧,確保了彈片緊緊貼在定子的內壁。
真空鍍膜機的原理和各部件分析真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空裝置,一般用真空室、真空機組、電氣控制櫃三大部分組成,排氣系統採用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司專業從事真空鍍膜裝置的研發與生產擁有經驗豐富的技術團隊及優質的售後服務隊伍為您解決裝置在使用過程中遇到的任何問題。下面,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理。
一、真空鍍膜機真空主體——真空腔根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有連線閥,用來連線各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統 :排氣系統為真空鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統採用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後繼抽真空提供前提,之後當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
1.機械泵的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用於大型裝置)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。
2.機械泵是從大氣開始工作的,它的主要引數有極限真空,抽氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積,可以用下公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截面積,L表示空腔長度,係數表示轉子每旋轉一週有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積最大,轉速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的鬆緊度有關係,當電機的皮帶比較松,電機轉速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經常保養,點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢,油過少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位線上下0.5釐米即可。
真鍍膜機是現在製造真空條件使用最為廣泛的裝置。其有關構成及各部件:機械泵、增壓泵、油分散泵、冷凝泵、真空丈量系統.
真鍍膜機原理 真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD鐳射濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
真空鍍膜機各部分的組成
一、真空主體——真空腔 依據加工商品請求的各異,真空腔的大小也不一樣,現在使用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼資料製造,請求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有銜接閥,用來銜接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統 此排氣系統選用“分散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”構成排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA擺佈的低真空狀況,為分散泵後繼抽真空供給條件,以後當分散泵抽真空腔的時分,機械泵又配合油分散泵構成串聯,以這麼的方式完成抽氣動作。
排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,首要有由機械泵、增壓泵(首要介紹羅茨泵)、油分散泵三大多數構成。
機械泵:也叫前級泵,機械泵是使用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來堅持密封效果並依託機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷脹大然後取得真空。
機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此首要使用於大型裝置)、活塞往復式、定片式和旋片式(此現在使用最廣泛,這篇文章首要介紹)四種類型。
機械泵常常被用來抽除乾燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵通常被用來抽除永久性的氣體,可是對水汽沒有好的效果,所以它不能抽除水汽。旋片泵中起首要效果的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裡邊但與定子不一樣心軸,象兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈片中心裝有繃簧,確保了彈片緊緊貼在定子的內壁。
真空鍍膜機的原理和各部件分析真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空裝置,一般用真空室、真空機組、電氣控制櫃三大部分組成,排氣系統採用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司專業從事真空鍍膜裝置的研發與生產擁有經驗豐富的技術團隊及優質的售後服務隊伍為您解決裝置在使用過程中遇到的任何問題。下面,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理。
一、真空鍍膜機真空主體——真空腔根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有連線閥,用來連線各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統 :排氣系統為真空鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統採用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後繼抽真空提供前提,之後當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
1.機械泵的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用於大型裝置)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。
2.機械泵是從大氣開始工作的,它的主要引數有極限真空,抽氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積,可以用下公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截面積,L表示空腔長度,係數表示轉子每旋轉一週有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積最大,轉速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的鬆緊度有關係,當電機的皮帶比較松,電機轉速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經常保養,點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢,油過少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位線上下0.5釐米即可。