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  • 1 # 我願是大海

    ASML的成立很偶然,是另一家著名公司飛利浦,隨手促成玩玩的,完全沒指望他可以做大。


    ASM的老闆叫Arthur del Prado,畢業於哈佛商學院。畢業後回到荷蘭建立了ASM。

    他的目標,是在歐洲建立一座矽谷。


    正好,當時光刻機門檻不高,飛利浦剛剛在實驗室裡研發出了自動化步進式光刻機的雛形,但這個雛形還不夠成熟。

    飛利浦拿著它去找業界老大,但無論是GCA還是P&E,都不願意合作,瞧不上這個不成熟的東西。

    ASM主動找上門來,想要尋求合作,但飛利浦又嫌棄ASM體量太小。

    飛利浦這個光刻機高不成低不就的,就快砸手裡了。

    1983年,ASM在納斯達克上市了。飛利浦意識到,這個ASM比自己想象中的似乎強不少。

    於是,飛利浦再次找到ASM,打算給自己的光刻機找個接盤俠。


    為什麼說是接盤俠呢?

    因為原本飛利浦和ASM談的是,雙方各出210萬美金,成立一個合資公司ASML。

    但真等到要拿錢出來的時候,飛利浦連這點錢也不願意拿,硬是用一些還不太成功的庫存PAS2000光刻機抵了180萬美金。

    換句話說,飛利浦真沒覺得這生意能做大,就想借這個公司佔一個坑觀望觀望。

    事實上,初期的確如此。

    ASML成立之初,只有31個員工,這31個員工就在飛利浦豪華玻璃大樓外面的小破木板平房裡辦公,連大樓都進不去,跟要飯的差不多,業績也是極為慘淡。


    1986年,半導體市場遭遇危機,整體來了個大滑坡,光是三星就在半導體上虧了3億多美元!

    連帶著搞光刻機的廠商,也遭了殃。美國的GCA找不到買主被關閉,Ultratech被賣出去後還縮小了規模,P&E也被賣給了SVG……

    美國三雄的地位,已經完全被尼康和佳能替代了。

    而ASML本身規模小,想虧也沒啥能虧的,尼康佔據了高階的市場,原來的美國公司沒了,反而讓他們有了10%的市場佔有率。

    和尼康比起來,他們就是個小蝦米。

    但誰也沒有想到的是,整個光刻機行業的發展瓶頸,給了ASML一個意外鹹魚翻身,反超尼康的機會!


    尼康光刻機

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    ASML反超尼康的機會,來源於光刻機技術碰見困難了,前進不了,整個行業都卡那兒好多年了,前方堵車,此路不通。

    困難是什麼呢?

    做晶片這件事,就是在矽上用刀雕花刻字,鐳射就是那個刻字的“刀”。

    光源的波長數小了,刀更精緻了,能加工的晶片自然而然也就更加精細了。

    而全世界已經卡在193nm很久了,寸步難進。


    當時的業界有好幾個思路。

    第一種,是以尼康為代表的157nm。這種做法的難度在於,157nm光會被現有193nm機器用的鏡片吸收,相對應光刻膠也要重新研製。

    重新研製問題也不大,但從193到157,這個進步實在是太小了,很有可能入不敷出。

    以前,尼康因為鏡頭出色,而為自己打出了一片天地。而這時候,事事親力親為,成了它失敗的原因。

    由於要自己研發,慢,成了它的第一個弱點。同時,事事都做,就不可能事事都做得好。於是,尼康在研發過程中經常不是這裡出了問題,就是那裡有個毛病。

    第二種,是將光源改為極紫外光EUV,它只有13.5nm,但難度更大,以當時的技術根本實現不了。

    所以這兩種思路在當時,都失敗了。

    這時候,臺積電的一個叫做林本堅的工程師,提出了一個獨樹一幟的新思路:

    只要在光刻膠上加一層水,鐳射入水折射,193nm不就一下變成134nm了嗎?


    但他的想法剛提出來的時候,根本就沒有人買林本堅的賬,甚至還有大公司高層找到臺積電,希望有人管管林本堅,讓他不要出來瞎攪合。

    但林本堅沒放棄,他找來找去,終於找到了ASML,願意和他合作。

    兩家一拍即合。2004年,雙方共同研發出了全球第一臺浸潤式光刻機!

    儘管尼康也宣佈157nm的樣機研製成功了。但ASML的機器顯然彎道超車了,更受歡迎。

    光刻機的市場就那麼大,這一場道路選錯要了老命,尼康大輸一陣!


    如果說,尼康在市場佔有率上的第一次被反超,還只是路線選擇錯誤翻車了的話,那麼後來差距的被進一步拉大,就完全是政治問題了。

    林本堅的思路是一個取巧的辦法,但徹底改變光源才是未來勢必要走的一條路。

    早在1997年,英特爾就和美國能源部牽頭,拉了AMD、摩托羅拉等搞了一個前沿組織EUV LLC。

    這個組織實力非常強大,成員囊括了美國勞倫斯利弗莫爾、勞倫斯伯克利和桑迪亞三大國家級實驗室。

    前後有近40個國家加入戰團,歐美髮達國家幾乎悉數入局,是業內科研最為頂級的組織!

    對於尼康和ASML來說,兩個企業勢必要拉一個進來。

    然而,美國選擇了ASML,尼康被排除在外了——美國怕尼康竊取自己的技術,也怕日本掌握核心技術不安全。

    同時,ASML沒少給美國承諾,立投名狀。

    EUV光刻技術比以往復雜了百倍:

    光源需要重新來,鏡頭需要重新磨,光源的功率需要提升……總之,沒近路可以抄。

    日本尼康就是在科研上再厲害,也比不過全世界集體合作。


    2009年,Cymer公司的EUV光源功率達到100W,接近商業化指標,成為了ASML的光源模組供應商。

    終於,EUV光刻機研製成功。

    前前後後算起來,錢還是其次,無數科研人員的精力和時間,是多少錢都買不來的。

    一臺EUV光刻機的重量超過180噸,整個光刻機的零配件超過10萬件,而要想把這樣的一臺光刻機從出廠運到客戶工廠中,至少需要40個集裝箱!

    僅僅是從安裝到除錯,就需要一年的時間。

    和這樣宏大的專案比起來,尼康力有未逮,和ASML的差距越拉越大,絕望得再也看不到翻盤的希望。

    其實,不要說日本了,對全世界任何一個國家來說,ASML都是眾星捧月的那個“月亮”,他一馬當先,其他人都難以望其項背。


    日本人曾經研究過ASML,他們發現,ASML的一臺EUV光刻機有超過10萬個零件,其中90%的零部件都依賴外購。

    有美國Cymer的光源(2013年被ASML收購),有德國蔡司的頂級鏡頭,有英特爾的技術分配,有瑞典的軸承,有法國的閥件,等等等等……

    ASML作為集大成者,自己需要做的主要是設計和組裝,不需要管工廠生產。

    換句話說,ASML作為頂級光刻機的背後,是全世界多個國家的頂尖技術的通力配合,整個人類上百年科技的結晶,更是全球化的產物。

    如果中國的光刻機擊敗了ASML,不是中國單挑贏了荷蘭,而是中國單挑贏了全世界。中國,加油!

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