光刻機的生產公司屬於晶片產業中游，其中比較著名的就是荷蘭的ASML公司，幾乎壟斷了光刻機市場80%的份額。

中國當前有哪些製造光刻機的公司呢？

能夠製造光刻機與實現晶片代工生產是兩個概念，這裡面有兩家公司不得不提。其中一家是上海微電子裝備公司，另外一家便是中芯國際。

上海微電子裝備公司是大陸光刻機生產製造公司，生產的SSX600系列光刻機可以實現90nm的工藝製程，與ASML公司5nm工藝製程的光刻機確實存在不小的差距。

再來說說中芯國際，這是一家晶片代工公司，當前已經具備了14nm工藝製程能力，12nm也進入了測試階段。值得說明的是，中芯國際花費1.2億美元從ASML公司預定了一臺光刻機，預示著中國晶片代工即將挑戰7nm高階工藝製程。

在2002年，科技部和上海市共同成立SMEE（也就是上海微電子裝備公司的簡稱）是中國為了填補光刻機空白而立的項。和中科院以及武漢光電國家研究中心為代表 SMEE的光刻機目前來說它有四大系列，分別是200系列光刻機、300系列光刻機、500系列光刻機、600系列光刻機。這些系列機器僅能夠做出90nm工藝的晶片，與國外先進的7nm工藝，甚至更為先進的5nm工藝的光刻機還差很多在一個就是中科院了，根據新華社的報道，中科院的“超分辨光刻裝備研製”於2018年11月29日透過驗收，它的光刻分辨力達到22nm，結合雙重曝光技術後，未來還可用於製造10nm級別的晶片。最近我們的中中國產9nm光刻機得到了突破，已經成功研發出9nm工藝光刻機

現在我們國家非常重視科技科研，不斷加大投入研發，我們的光刻機在未來也會不斷突破國外技術封鎖，讓我們能夠用自己產機器加工晶片。路很長，但值得期待！