間與旋片摩擦碰撞，造成旋片損壞。

2.旋片的正常磨損也是一個很重要的原因，真空泵油乳化時對旋片的磨損會加大。

3.旋片真空泵的性能較好，抽氣均勻、噪音低、動力消耗少。

4.長時間使用後，由於旋片磨損，密封性能將會下降，使得抽氣量和真空度都會有很大程度的降低。

二、

怎麼修復磨損的旋片及提高真空度?

1.旋片在磨損較大的情況下，假如加工能力許可的話，則用一般能換新的。因為換新旋片要比研磨泵腔端面方便些。

2.假如旋片磨損得很歷害，就以所測得的旋片的最小尺寸先修正旋片。可用細銼包紗紙平推，邊磨邊測量尺寸和對角尺，直到看不到透亮的縫隙。

3.如旋片磨損太多，則先上磨床。然後根據所選取的間隙值來鏟刮、研磨轉子和泵腔兩端，以保證三者之間的配合間隙。

1.旋片的正常磨損也是一個很重要的原因，當真空泵油乳化時會對旋片的磨損加大。

2.真空泵內進入髒東西或硬性固體顆粒，長時間與旋片摩擦碰撞，造成旋片損壞。

3.旋片真空泵的性能較好，抽氣均勻、噪音低、動力消耗少。長時間使用後，由於旋片磨損，密封性能將會下降，使得抽氣量和真空度都會有很大程度的降低。馬力提供的解決辦法是1.假如旋片磨損得最歷害，因此就以所測得的旋片最小尺寸先修正旋片。可用細銼包紗紙平推，邊磨邊測量尺寸和對角尺，直到看不到透亮的縫隙。

2.如旋片磨損太多，則先上磨床，然後根據所選取的間隙值來鏟刮、研磨轉子和泵腔兩端，以保證三者之間的配合間隙。

3.旋片磨損較大後，假如加工能力許可的話，則最好能換新的，因為換新旋片要比研磨泵腔端面方便些。

一、等離子清洗機不發光

可能原因：1真空泵是否正常運行；2、射頻電源主機板燒壞；

處理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空壓力錶值是否達到正常壓力值；如不能達到正常壓強，則代表氣路有漏氣需重新檢查氣路是否固定好；2、打開設備右側面板，檢查射頻電源主機板綠色燈在設備正常運行下是否亮，如果不亮，請聯繫東信高科售後人員進行更換。

二、真空泵不工作

可能原因：1、真空泵油不足；2、電機燒壞；3、真空泵磨損；

處理措施：1、清洗後，添加真空泵油；2、請聯繫我公司客服；

三、清洗效果不良

可能原因：1、等離子功率不夠；2、選用不適合的反應氣體；

解決措施：1、調節功率旋鈕，提高功率；2、工藝氣體是否匹配合理；3、諮詢我公司客服；

四、真空泵熱過載保護，請檢查線路和真空泵故障

1、出現此情況請首先觀察系統參數有無變化，設備突然斷電會引起系統參數歸零，導致設備出現此類報警；

2、如系統參數無變化，請確認熱繼電器是否自動保護，按復位鍵，然後啟動真空發生系統。如沒有自動保護，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況；

3、檢查導線是否有斷路或短路情況；

4、如無上述異常，請檢查真空泵；

五、放空氣體壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡

1、如出現此類報警請檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或短路；

六、真空泵倒計時故障（機械故障），請檢查真空泵抽空能力，故障排除點擊復位鍵

1、所處理產品有嚴重滲氣情況，真空倒計時時間設備較短，無法在設備時間內抽到背底真空；

2、檢查真空門是否關到位；

3、逐級檢查真空系統中各連接點，看是否有管道連接不良或損壞；

4、真空泵故障，需檢查保養真空泵；

七、真空計故障報警，真空計故障或損壞，請檢查並更換真空計

1、檢查真空計是否損壞，檢查真空計控制線路是否有斷路或短路；

八、急停未復位或已按下，請打開急停開關

1、檢查急停是否被按下，如沒有此情況，請檢查急停線路；

九、 CDA壓力過低報警（破空氣體壓力低）

1、此報警為壓縮空氣氣壓不足夠報警，主要出現於配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的設備，出現此報警時需檢查CDA是否正常供氣至設備端；

2、確認供氣壓力是否過高或過低，減壓表的報警值是否設定正確；

3、檢查電氣線路是否出現斷路或短路；