純水指的是經過RO反滲透淨化過濾的水；純淨水指的是市面上購買的瓶裝純淨水；蒸餾水指的是實驗室用蒸餾手段製得的水；去離子水指的是工業上大規模量產的蒸餾水；H2O2指的是雙氧水，具有強氧化性。

1、定義不同，去離子水是除去了溶液當中所有呈離子狀態的雜質，而超純水是除了水分子以外的物質沒有其他的雜質，換個說法就是除了氧和氫以外沒有其他的物質。

2、製備方法不同，製備超純水需要用蒸餾的方法，以及陰陽離子交換樹脂來吸收溶液當中的陰陽離子，而制作去離子水就是用離子交換樹脂除去水中的離子雜質。

3、用途不相同，去離子水一般都作為實驗室或者是化驗室的使用水，而超純水使用的範圍更廣，比如會用在電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。

純淨水：純水就是去掉了水中的全部電解質與非電解質，也可以說是去掉了水中的全部非水物質。基本都用反滲透法制得。由於在反滲透預處理中絕大多數都先用活性碳去除了部分非電解質，並且電導率非常容易測量，所以純水純度往往也用電導率衡量。但如果要獲得極高純度的高純水，還是需通過去除電解質的混床、EDI方法。

去離子水：顧名思義就是去掉了水中的除氫離子、氫氧根離子外的其他由電解質溶於水中電離所產生的全部離子。即去掉溶於水中的電解質物質。由於電解質溶於水中電離所產生的離子能增大水的導電能力，去離子水純度自然用電導率來衡量。去離子水基本用離子交換法制得。但去離子水中可以含有不能電離的非電解質，如乙醇等