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  • 1 # 3478112416

    表面鈍化工藝是在半導體器件表面覆蓋保護介質膜,以防止表面汙染的工藝。為了達到鈍化效果,硅片清洗和封裝技術對於各種鈍化膜結構都非常重要

    直接同半導體接觸的介質膜通常稱為第一鈍化層。常用介質是熱生長的二氧化硅膜。在形成金屬化層以前,在第一鈍化層上再生長第二鈍化層,主要由磷硅玻璃、低溫澱積二氧化硅等構成,能吸收和阻擋鈉離子向硅襯底擴散。為使表面鈍化保護作用更好並使金屬化層不受機械擦傷,在金屬化層上面再生長第三層鈍化層。這第三層介質膜可以是磷硅玻璃、低溫澱積二氧化硅、化學氣相澱積氮化硅、三氧化二鋁或聚酰亞胺。這種多層結構鈍化,是現代微電子技術中廣泛採用的方式。

    對於鈍化層的基本要求是:能長期阻止有害雜質對器件表面的沾汙;熱膨脹係數與硅襯底匹配;膜的生長溫度低;鈍化膜的組份和厚度均勻性好;針孔密度較低以及光刻後易於得到緩變的臺階。

    在實際的器件表面鈍化工藝中,為充分利用各種介質膜的特性,通常選用多層結構的鈍化膜,如二氧化硅-磷硅玻璃-二氧化硅或二氧化硅-氮化硅-三氧化二鋁結構等。

    為了達到鈍化效果,硅片清洗和封裝技術對於各種鈍化膜結構都非常重要。

  • 2 # 曇花一現71742

    成都市生態環境局的相關負責人介紹表示,這是結合全國31個重點行業實際,生態環境部在2019年提出的重汙染天氣應急減排差異化管控創新舉措。

    涉及的相關重點行業企業結合自身行業特點、生產情況、生產工藝和汙染排放情況製定重汙染天氣應急減排方案。其中,重汙染天氣績效等級經評定達到A類的企業在重汙染天氣應急期間免於停限產,B類企業減小停限產比例。

    “這對於加快企業綠色發展,促進行業提標改造,推進經濟高質量發展具有積極作用。”該負責人表示,生態環境部門會同經信部門,指導企業按照國家《重汙染天氣重點行業應急減排措施製定技術指南》,結合企業生產情況和生產工藝,製定減排措施。

    舉措要求細化到具體生產線、生產工藝環節、生產設備。方案經過專家審核認定其滿足“可操作性、可檢測、可核查”的條件後,向生態環境和經信部門備案,納入重汙染天氣應急減排清單。“對於企業編制的‘一廠一策’,我們會結合企業生產實際和在執行過程中遇到的具體困難,及時給予指導和適時調整。”

  • 3 # 用戶917376507636

    工業源VOCs來源複雜,涉及行業眾多、量大面廣,包括石化、化工、工業塗裝、包裝印刷等行業,且物質品種多樣,常見組分包括烴類、酯類、醇類、酮類、胺等。同時不同行業生產工藝差別較大,廢氣排放風量及濃度存在連續性、間歇性等不同排放工況,排放特徵複雜多變。因此,傳統針對SO2和NOx治理的方式和理念在解決當前VOCs汙染管控問題時已經很難奏效,必須通過更加精細化、個性化的技術途徑來解決VOCs治理問題,一廠一方案便成為了最佳選擇。

    環大氣53號文:推行“一廠一策”制度

    生態環境部在2019年6月印發的《重點行業揮發性有機物綜合治理方案》(環大氣〔2019〕53號)中明確提出深入實施VOCs精細化管控,推行“一廠一策”制度。

    推行“一廠一策”制度。各地應加強對企業幫扶指導,對本地汙染物排放量較大的企業,組織專家提供專業化技術支持,嚴格把關,指導企業編制切實可行的汙染治理方案,明確原輔材料替代、工藝改進、無組織排放管控、廢氣收集、治汙設施建設等全過程減排要求,測算投資成本和減排效益,為企業有效開展VOCs綜合治理提供技術服務。重點區域應組織本地VOCs排放量較大的企業開展“一廠一策”方案編制工作,2020年6月底前基本完成;適時開展治理效果後評估工作,各地出臺的補貼政策要與減排效果緊密掛鉤。鼓勵地方對重點行業推行強制性清潔生產審核。

    VOCs“一廠一策”發展初步情況

    2014年3月(上海市)

    上海市發布《開展本市VOCs排放重點企業汙染治理工作》,篩選全市VOCs排放量較大的150家重點企業,並要求其製定一廠一策並落實末端治理工程。隨後在2015年,上海市持續深化減排工作,要求全市VOCs排放量較大的2000家企業實施VOCs減排並給予財政補貼支持,自此上海市VOCs一廠一策工作全面鋪開。

    2016年7月(廣東省)

    廣東省生態環境廳發布《關於開展固定汙染源揮發性有機物重點監管企業“一廠一策”治理工作的通知》,要求正式推進VOCs治理一廠一策。目前廣東在該領域也積累了豐富的經驗。

    2016年8月(蘇州市)

    蘇州市生態環境局發布《石油煉製、石油化工和合成樹脂行業企業編制VOCs“一廠一策”提標改造方案》,正式在蘇州市推進一廠一策工作。

    2019年8月(國家層面)

    生態環境部印發的《重點行業揮發性有機物綜合治理方案》(環大氣[2019]53號)要求,重點區域應組織本地VOCs排放量較大的企業開展“一廠一策”方案編制工作,2020年6月底前基本完成。

    2020年6月(全國範圍)

    截止日前,除以上省市之外,山東、浙江、四川、福建等地逾百座城市陸續開展VOCs“一廠一策”減排方案編制及治理工作,VOCs減排“一廠一策”工作已在全國範圍逐步推開。

    《揮發性有機物綜合治理一廠一策編制技術指南》團標獲批立項,全國徵集參編單位

    VOCs一廠一方案編寫的邏輯思路

    編制揮發性有機物“一廠一策”,基本的邏輯思路是:首先要收集企業資料,其次進行現狀排查並計算排放量,然後提出改造方案,最後總結VOCs達標排放及減排效果。這也是自2015年以來,一廠一策逐步推廣積累起來的大綱編寫要點和可供參考的統一模板。

    那一份完整規範的“一廠一策”方案應包含哪些內容?

    方案中的常見問題以及修改建議又是什麼?

    我們再來詳細看看,先說說一廠一策編制大綱的要點詳解:

    VOCs重點企業“一廠一策”編制大綱

    編寫步驟、大綱及要點

    一、企業概況

    應包括企業簡介(即企業名稱、企業地址、所屬行業、投產時間、主要產品、生產規模、聯繫人信息等),廠區布置(即主要生產設施和輔助設施的布置,如生產車間、生產線、汙水站、冷卻水系統等,以及危險品、原料和成品儲存和運輸等,並附廠區地理位置圖和廠區平面布置圖)。

    二、生產工藝

    (一)生產工藝流程。主要介紹企業的生產工藝流程和VOCs排放的主要環節,附企業生產工藝流程圖和VOCs排放節點。

    (二)產品產量。說明企業的主要產品類型、生產能力及最近一年的產量。若不同的生產車間、生產線生產的產品或中間產品不同,應分別提供各生產車間、生產線的產品產量情況。塗裝行業應重點說明塗裝、流平、烘乾工序產能及情況。

    (三)原輔材料用量。應根據生產工藝流程,分生產工段詳細描述主要原輔料類型及上一年的用量,並附原輔材料用量表。

    涉及有機溶劑使用的企業應說明各工段有機溶劑(包括油漆、塗料)的種類、VOCs含量和用量。

    有儲罐的企業應說明儲罐個數、儲罐類型(包括臥式、拱頂、內浮頂、外浮頂)、存儲的液體類型及其年存儲量,說明儲罐的維護保養情況,可附圖片說明。

    化工企業應說明管道、閥門、泵、壓縮機、洩壓閥、連接口、開口管、採樣連接口等裝置密封點個數,描述密封點的維護保養情況(如有無破損等),是否開展檢漏維修(LDAR)等相關工作。有化工裝置的企業應說明化工裝置的開停工情況、排空方式、是否配備回收淨化裝置等有關情況。排空過程有監測的企業應提供監測濃度。

    化工企業有汙水治理設施的應提供汙水治理的方法、是否加蓋、敞開面積以及是否有廢氣治理等信息。

    三、VOCs產排汙環節及控制現狀

    (一)VOCs產生源分析。石化、化工類企業應分析有機液體儲罐與調和揮發損失、有機液體裝卸揮發損失、設備動靜密封點洩漏、廢水處理過程逸散、燃燒煙氣、火炬排放、循環冷卻系統釋放、非正常工況排放、事故排放、採樣過程、工藝無組織排放、工藝有組織排放等環節排放情況。溶劑使用類企業應說明溶劑存儲、使用等過程VOCs排放各環節情況。

    同時應說明企業生產線的管理水平、生產裝置和生產車間的密閉狀態以及生產線排口的廢氣收集情況,並附生產車間現場照片。

    (二)VOCs控制現狀。說明企業各車間排放口數量、高度以及排放的主要汙染物種類等情況,企業各排放口的收集情況、廢氣來源;說明各車間排放口的治理設施情況,包括治理技術、設備型號、生產廠家、使用年限、治理的汙染物種類、治理設施的維護保養情況。

    對有組織排放口(若有治理設置,則對治理前、後)的廢氣排放情況進行檢測或在線監測,評估汙染物排放及其達標情況。檢測/監測物種應包括非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、三甲苯等主要VOCs物種,同時對廢氣治理設施的運行狀態進行同步監測(處理效率),檢測或在線監測報告作為附件。

    注:活性炭吸附裝置應提供活性炭更換頻次和處置方式等,燃燒法VOCs治理裝置應提供燃料、燃燒溫度等燃燒條件,需定期更換吸附劑、催化劑或吸收液的,需要提供詳細的購買及更換臺賬、提供採購發票複印件。

    四、VOCs排放量核算

    以上一年生產經營活動規模數據,按照規定的估算方法,核算VOCs排放量。對涉及VOC排放的物料,編制物料平衡圖(表) ,一般溶劑使用類企業都應做物料平衡。

    五、已(擬)實施的VOCs綜合治理方案

    (一)源頭控制方案

    1、低揮發性原料調整

    表面塗裝行業鼓勵使用水性塗料、高固份塗料、粉末塗料、紫外光固化塗料等,限制使用溶劑型塗料;

    塗料、油墨和粘膠劑生產行業鼓勵擴大低溶劑含量、低毒、低揮發性塗料的生產規模;

    包裝印刷行業醇性(無苯、無酮)油墨和水性油墨替代溶劑型油墨,印製鐵罐使用含固體份高的UV塗料。

    2、工藝調整

    鼓勵企業中VOCs排放量貢獻大的生產環節向相對清潔的產業轉移,逐步淘汰VOCs排放量大的生產環節;

    表面塗裝行業推廣採用靜電噴塗、高流量低壓噴槍等塗裝效率較高的塗裝工藝;

    塗料、油墨和粘膠劑生產行業加大生產裝置和生產過程的密閉率,研磨、調漆等生產裝置邊緣的密閉率要求≥90%,鼓勵採用密閉化一體化的生產技術;

    包裝印刷行業推廣採用無溶劑複合工藝替代乾式複合工藝。

    (二)過程控制方案

    應加強存儲、裝卸、使用過程的密閉性,無組織廢氣應收盡收,收集率不低於90%。

    有機化工行業應加強閥門、法蘭、泵和壓縮機密封、洩壓設備等設備的檢修和維護,建立洩漏修復技術(LDAR),並製定洩漏檢修計劃,定期實施。

    (三)末端治理方案

    企業各生產車間和工藝環節的VOCs治理情況進行梳理,對無治理設施的車間和環節,製定並落實治理的技術方案;

    已有治理設施但不符合國家、省揮發性有機物排放標準、技術規範及治理技術指南等要求的,應制定並落實技改方案;

    已有治理設施且符合相關技術規範要求的,應加強排放監管,並按要求建立企業VOCs環境管理信息臺賬。

    (四)日常監管方案

    1、建立企業VOCs管理臺帳

    建立各企業VOCs相關信息管理臺賬並按年度更新,VOCs治理設施必須按照生產廠家提供方法進行維護,填寫主要信息和維護記錄。如:活性炭吸附脫附裝置應提供活性炭更換頻次和處置方式等、燃燒法VOCs治理裝置應提供燃料、燃燒溫度等燃燒條件。

    2、提出企業VOCs排放自查方案

    各企業應提出VOCs排放環節和治理設施的自查方案。有機化工行業應加強冷卻塔、閥門、法蘭、泵和壓縮機密封、洩壓設備等設備的檢修和維護,建立洩漏修復技術(LDAR),並製定洩漏檢修計劃。

    溶劑適用行業應建立VOCs溶劑管理臺賬和治理設施管理臺賬並定期更新。其中溶劑管理蓋章每月記錄使用塗料、稀釋劑、固化劑、清洗劑等原輔材料的名稱、廠家、型號、購入量和使用量等資料。編制過程中常見的問題匯總如下:

    常見問題與建議

    五、附注:上海地區VOCs2.0版本“一廠一策編制”大綱

    眾所周知,今年3月初,上海市生態環境局發布VOCs2.0版本的一廠一策編制大綱要求,具體要採用“方案製定+技術評估+跟蹤推進”三段式漸進技術路線,企業方根據VOCs綜合治理“一廠一方案(2.0)”編制大綱要求編制方案並組織實施,可以對比發現總體與上述VOCs1.0版本的編制大綱類似,但VOCs2.0版本特別是側重了“VOCs綜合減排”的內容要求,因此也可稱是VOCs1.0版本的升級版本,更側重VOCs的精準減排,進一步壓實VOCs減排的潛在空間;此外,在管理模式上,上海生態環境部門組織行業專家對重點企業開展技術評估,確保企業治理措施的科學性、針對性和有效性;技術支持團隊開展綜合治理技術培訓並跟蹤重點行業企業VOCs治理成效,形成完全閉環的管理。

    如下為VOCs綜合治理“一廠一方案(2.0)編制大綱:

    常見十大行業VOCs產廢來源及特點

    VOCs“一廠一方案”編制可參考

    下文總結匯總電子行業、製藥行業、塗料製造、油墨製造、膠黏劑製造、木材加工、家具製造、交通運輸設備製造、皮革製造、製鞋業常見十大VOCs排放行業的VOCs產生來源及特點,針對VOCs一廠一方案編制中的VOCs產汙來源及排放量章節,特別是目前上海地區推行的VOCs一廠一方案2.0版本的該章節編制,具有較大參考作用。此外,針對這些行業的VOCs工程治理方案,同樣具有針對性的借鑑作用。

    一、電子工業

    電子產品類型主要包括電子專用材料、電子元件、印製電路板、半導體器件、顯示器件及光電子器件、電子終端產品六大類。這六大類產品雖均屬電子產品製造行業,但是由於他們各自的生產工藝不同,原輔材料不同,所排放的特徵汙染物及其濃度也不盡相同。

    電子專用材料

    電子專用材料是在半導體集成電路、各種電子元器件(包括有源及無源元器件、激光器件、光通訊器件、發光二極管器件、液晶顯示器件等電子基礎產品)製造中所採用的特定材料。

    ①覆銅板

    覆銅板生產工藝屬於無水工藝,除冷卻水、檢驗檢測部門會產生少量汙水外,其他生產流程不會產生汙水。生產過程產生的汙染物主要在廢氣方面,較多來自於使用丙酮、甲苯等有機溶劑的揮發。

    ②電子銅箔

    電子銅箔生產廢氣中的主要汙染物為硫酸霧和少量苯。

    ③石英晶棒(片)

    石英晶棒及晶片加工過程中的切割工序中因柴油揮發產生少量VOCs。

    ④電阻漿料

    電阻漿料主要由導電相(功能相)、黏結相(玻璃相)和有機載體三部分組成。生產廢氣中的主要汙染物為VOCs 、粉塵。

    電子元件

    電子元件一般包括: 電容器、電阻器、電位器、電感器、電子變壓器、混合集成電路、控制元件、敏感元件、傳感器等。

    ①有機介質電容器

    有機介質電容器紙塗漆、電容器表面塗覆處理時有VOCs廢氣產生。

    ②鋁電解電容器

    鋁電解電容器生產準備階段要進行拋光處理, 去邊緣毛刺時產生少量粉塵;鋁箔腐蝕時會產生鹽酸氣體,切割會產生少量粉塵。

    ③鉭電解電容器

    鉭電解電容器的燒結過程與焊陽、陰極引線時有VOCs廢氣產生。

    ④雲母電容器

    雲母電容器生產過程中在老練過程中產生VOCs廢氣。

    ⑤薄膜電阻

    薄膜電阻在生產準備階段要進行拋光處理,去邊緣毛刺時產生少量粉塵;表面塗覆有VOCs廢氣產生。

    ⑥玻璃釉電阻器

    玻璃軸電阻器生產過程中,有機載體的製備、絲網印刷、烘乾燒結及引出端焊接有VOCs廢氣產生。

    ⑦金屬箔電阻器

    金屬箔電阻器生產過程中的配膠貼箔工序有少量VOCs廢氣產生。

    ⑧電感器

    電感器在材料準備時會有VOCs產生,包括無水乙醇、丙酮、少量二甲苯等; 焊錫過程有廢氣與粉塵產生。

    ⑨電子變壓器

    電子變壓器在點膠和烘烤過程中有VOCs廢氣產生。

    印製電路板(PCB)

    印製電路板是電子設備中不可缺少的配件。根據印製板中導線圖形層數不同有單面(僅一層線路)、雙面(有二層線路)和多層(有三層以上線路)之區分,剛性和撓性板都有不同層數。

    半導體器件

    ①分立器件、集成電路

    最常見的雙極管之一的NPN 三極管流程主要工藝有:氧化、光刻、N 型外延、基區擴散、發射區擴散、Al 金屬化、化學氣相沉積(CVD)鈍化層等步驟。工藝流程與集成電路生產工藝類似。

    集成電路製造可大致分為各獨立的“單元”,如晶片製造、氧化、摻雜、顯影、刻蝕、薄膜等。各單元中又可再分為不同的"操作步驟",如清洗、光阻塗布、曝光、顯影、離子植入、光阻去除、濺鍍、化學氣相沉積等。

    由於半導體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、鹼性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

    酸鹼廢氣主要來自於擴散、CVD 、CMP 及刻蝕等工序,這些工序使用酸鹼清洗液對晶片進行清洗。目前,在半導體製造工藝中使用最為普遍的清洗溶劑為過氧化氫和硫酸的混合劑。這些工序中產生的廢氣包括硫酸、氫氟酸、鹽酸、硝酸及磷酸等的揮發氣,鹼性氣體為氨氣。

    有機廢氣主要來源於光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序,在這些工序中要用有機溶液(如異丙醇)對晶片表面進行清洗,其揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一: 同時,在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發的有機溶劑,如醋酸丁酯等,在晶片處理過程中也要揮發到大氣中,是VOCs廢氣產生的又一來源。

    有毒廢氣主要來源於晶體外延、幹法刻蝕及CVD 等工序中,在這些工序中要使用到多種高純特殊氣體對晶片進行處理,如硅烷( SiH4) 、磷烷(PH3 ) 、四氟化碳( CF4 ) 、硼烷、三氯化硼等,部分特殊氣體具有毒害性、窒息性及腐蝕性。

    ②封裝

    封裝指從晶片上切割單個芯片到最後包裝的一系列步驟。

    封裝工藝產生的廢氣較為簡單,主要是酸性氣體、環氧樹脂及粉塵。酸性廢氣主要產生於電鍍等工藝;烘烤廢氣則產生於晶粒粘貼、封膠後烘烤過程;劃片機在晶片切割過程中,產生含微量砂塵的廢氣。

    顯示器件及光電子器件

    從產生汙染的角度而言,顯示器件的代表性產品為TFT-LCD (薄膜晶體管液晶顯示器件),光電子器件的代表性產品為LED光電子器件。

    ①TFT-LCD

    完整的TFT-LCD 生產工藝流程主要包括陣列工程( Array) 、彩膜工程(CF) 、成盒工程(Cell ) 三大部分。

    ②LED

    電子終端產品

    電子終端產品生產過程主要包括印製電路板(俗稱板卡)、組裝(板級組裝)、整機裝配和產品調試。

    電子終端產品製造行業廢氣排放潛在的汙染物主要是錫和錫化合物、鉛和鉛化合物及VOCs (苯系物與乙醇、異丙醇、丙酮等) 。

    二、製藥工業

    製藥行業屬於精細化工行業,其特點為生產品種多,生產工序長,使用原料種類多、數量大,原材料利用率低,導致製藥行業生產過程產生的“三廢”量大,廢物成分複雜,汙染危害嚴重。製藥工藝中往往需要採用有機溶劑對藥品進行分離和提取,因此VOCs 是製藥工業中最主要的大氣汙染物之一。

    按生產工藝,製藥可分為發酵類、提取類、化學合成類、製劑類、生物工程類和中藥類。

    發酵類

    發酵類藥品主要包括:抗生素、維生素、氨基酸和其他類。中國抗生素類藥物品種齊全,主要優勢品種有青黴素、鏈黴素、四環素、氯黴素、土黴素等產品。

    發酵類藥物生產過程產生的廢氣主要包括發酵尾氣、含溶媒廢氣、含塵廢氣、酸鹼廢氣及廢水處理裝置產生的惡臭氣體。發酵尾氣(包括發酵罐消毒滅菌排氣)的主要成分為空氣和二氧化碳,同時含有少量培養基物質以及發酵後期細菌開始產生抗生素時菌絲的氣味。

    分離提取精製等生產工序產生的有機溶媒廢氣(如甲苯、乙醇、甲醛、丙酮等),是主要的有機廢氣汙染源。

    化學合成類

    其主要品種有合成抗菌藥(如喹諾酮類、磺胺類等)、麻醉藥、鎮靜催眠藥(如巴比妥類、苯並氮雜卓類、氨基甲酸酯類等)、抗癲癇藥等16個種類近千個品種。

    化學合成類製藥企業主要廢氣汙染源包括:蒸餾、蒸發濃縮工段產生的有機不凝氣;合成反應、分離提取過程產生的有機溶劑廢氣;使用鹽酸、氨水調節pH 值產生的酸鹼廢氣;粉碎、乾燥排放的粉塵;汙水處理廠產生的惡臭氣體。

    化學合成工序主要大氣汙染物包括顆粒物、氯化氫和氨等無機物,以及化學合成使用的有機原料和有機溶劑,如苯、甲苯、氯苯、氯仿、丙酮、苯胺、二甲基亞碸、乙醇、甲醇、甲醛等。

    提取類

    將生物體中起重要生理作用的各種基本物質(如氨基酸、多肽及蛋白質、酶、核酸、糖、脂等)經過提取、分離、純化等手段製造藥物。

    提取類生產過程中的大氣汙染物主要來自清洗、粉碎、乾燥和包裝時產生的粉塵;在提取工段中常用的溶劑包括水、稀鹽、稀鹼、稀酸、有機溶劑(如乙醇、丙酮、三氯甲烷、三氯乙酸、乙酸乙酯、草酸、乙酸等),在提取、沉澱、結晶過程中均會涉及到有機溶劑的揮發,在酸解、鹼解、等電點沉澱、pH 調解等過程中還會涉及到酸鹼廢氣的揮發。

    生物工程類

    利用微生物、寄生蟲、動物毒素、生物組織等,採用現代生物技術方法(主要是基因工程技術等)生產多肽和蛋白質類藥物、疫苗等藥品,包括基因工程藥物、基因工程疫苗、克隆工程製備藥物等。

    生物工程類生產工藝廢氣主要來自溶劑的使用,包括甲苯、乙醇、丙醇、丙酮、甲醛和乙腈等,主要產汙點為瓶子洗滌、溶劑提取、多肽合成儀等的排風以及實驗室的排氣、製劑過程中的藥塵等。發酵過程中也會產生少量細胞呼吸氣,主要成分是CO2 和N2。

    中藥類

    以藥用植物和藥用動物為主要原料,根據國家藥典,生產中藥飲片和中成藥各種劑型產品。

    其中,核心工藝是有效成分的提取、分離和濃縮。根據溶劑不同分為水提和溶劑提取,其中溶劑提取以乙醇提取為主。

    中成藥生產廢氣主要為藥材粉碎等工序產生的藥物粉塵以及製藥過程中使用的部分VOCs 的揮發,如乙醇等。

    製劑類

    用藥物活性成分和輔料通過混合、加工和配製,形成各種劑型藥物。製劑藥物按劑型可分為固體製劑類、注射劑類和其他製劑類等。固體製劑類和注射劑類生產過程中廢氣汙染源主要為粉塵。

    製藥工業大氣汙染物主要來源於化學原料藥的生產過程,而其前20大品種化學原料藥產量佔24大類化學原料藥總產量的80%以上。因此,控制前20大品種所涉及到的揮發性物質有重要作用。

    製藥企業使用頻率前20位的有機溶劑

    三、塗料製造

    塗料生產中主要原料包括以下部分:成膜物質(基料)、溶劑、顏料、助劑。

    (1)成膜物質:又稱為基料,是使塗料牢固附著於被塗物體表面上形成連續薄膜的主要物質。常用的成膜物有醇酸/聚酯樹脂、酚醛/氨基樹脂、環氧樹脂、丙烯酸樹脂、聚氨酯、乙烯基樹脂、纖維素類樹脂、天然及合成橡膠等18大類。

    (2)溶劑:主要包括有機溶劑和水,其主要作用是使基料溶解或分散成為粘稠的液體,以便塗料施工。一個塗料品種既可以使用單一溶劑,又可以使用混合溶劑。

    (3)顏料:分散在漆料中不溶的微細固體顆粒,分為著色顏料和體質顏料,主要用於著色、提供保護、裝飾以及降低成本等;包括無機顏料、有機顏料、金屬顏料、珠光顏料和發光顏料等,大部分以無機顏料為主。

    (4)助劑:助劑在塗料的貯存、施工過程中以及對所形成漆膜的性能有著不可替代的作用。常用的助劑有流平劑、增稠劑、表面活性劑、增塑劑、催幹劑、固化劑、防汙劑、脫漆劑等。

    塗料類型可分為溶劑型、水性與粉末型。

    溶劑型塗料

    在塗料中使用的主要樹脂為醇酸樹脂、氨基樹脂、丙烯酸樹脂、酚醛樹脂、環氧樹脂、聚氨酯樹脂等。

    水性塗料

    與溶劑型塗料相比,水性塗料主要是用水代替了大量溶劑。由於用水代替了溶劑,因此洗滌過程通常使用水,則增加了水的回用過程,但減少了溶劑使用。

    粉末塗料

    粉末塗料通常是由聚合物、顏料、助劑等混合粉碎加工而成。粉末塗料的製備方法大致可分為幹法和溼法兩種方法,幹法塗料生產主要是熔融混合法;溼法工藝有蒸發法、噴霧乾燥法和沉澱法。蒸發法是先配置溶劑型塗料、然後用薄膜蒸發、真空蒸餾等法除去溶劑得到固體塗料,然後經過粉粹、過篩分級得到粉末塗料,主要是丙烯酸樹脂基粉末塗料生產,使用較多的是薄膜蒸發器和行星螺桿擠出機;噴霧乾燥法則是先配置溶劑型塗料,經過研磨、調色,然後分別噴霧乾燥造粒或者在液體沉澱造粒得到粉末塗料。

    四、油墨製造

    油墨主要由色料、連結料、助劑等成分構成。

    中國油墨企業以印刷油墨為主,業內通常按照印刷方式將其分為平版油墨、凹版油墨、柔印油墨、凸版油墨等,其中又以平版油墨(膠印油墨)和凹版油墨為主,兩種油墨產量分別佔總產量的60%、20%左右,柔印油墨佔7%、絲網油墨佔7%左右。

    膠印油墨

    膠印油墨是漿狀油墨的代表,平台機凸版油墨、絲網油墨和印鐵油墨都屬於漿狀油墨。基於顏料濾餅特點,漿狀油墨生產工藝可以分為幹法生產和溼法生產。

    凹版油墨

    凹版油墨屬於典型的液狀油墨,柔版式和新聞油墨都屬於液狀油墨,粘度很小。通常不需要預先混合,而是直接砂磨或者球磨。根據溶劑使用特點,通常可以分為水基油墨和溶劑基油墨,以水或者醇類為主的溶劑,便形成了水基油墨。

    五、膠黏劑製造

    膠黏劑的品種繁多,成分各異,但都以黏料為主要成分,並由固化劑、增塑劑、稀釋劑、填料以及助劑等配合而成。

    溶劑型膠黏劑

    投料過程反應釜置換廢氣經真空系統收集後排放是VOCs廢氣的一大來源,反應釜內的工藝尾氣經裝置頂部冷凝器冷凝,冷凝液回流入反應釜,不凝氣的排空管是VOCs廢氣的另一排放源。包裝方式採用一般貨物濺水式灌裝,包裝口存在一定的敞開口。這是VOCs廢氣的第三類排放源。

    水基膠黏劑

    水基膠黏劑的生產工藝通常是採用乳液聚合法生成,即以水作為外相,單體在乳化劑或者表面活性劑和充分攪拌的情況,通過膠束分散於水相併發生增溶溶解。通過添加水溶性引發劑(如過硫酸鉀等)後,一經加熱,引發劑就開始分解併產生自由基,進而引發膠束中單體發生聚合或者共聚反應。

    熱熔膠

    一般情況下,熱熔膠的製備是先將反應釜加熱到一定溫度,把原料按投料順序依次投入到反應釜內。經過加熱和攪拌均勻,如果需要應抽真空和充氮氣,達到出膠喉,放料進入擠出機。擠出機後,膠條通過同步牽引到水下起粒機。

    六、木材加工

    木材加工業,包括鋸材加工、單板加工及人造板製造等。木材加工主要分為鋸材、木片、單板加工及其它木材加工的木材加工;人造板製造包括膠合板、纖維板、刨花板等。

    木材加工行業中,VOCs排放以人造板製造為主。人造板生產所用原料包括木材類原料和非木材類的一年生與多年生植物纖維原料,這類原料是構成人造板的主要原料;還包括用於將纖維質原料重組複合膠接在一起形成人造板材的膠接材料-膠黏劑;以及為賦予人造板材不同性能而添加的各種輔助材料,包括防水劑、固化劑、阻燃劑、防腐與防黴劑、填充劑等。木材加工企業常用的有機溶劑包括:脲醛(樹脂)、酚醛(樹脂)、甲醛、三聚氰胺以及苯系物等。

    人造板加工行業VOCs廢氣主要來源於以下環節:(1)膠合板VOCs的排放主要在單板乾燥過程及制膠、施膠、熱壓過程;(2)刨花板主要為塗料、熱壓和鋸邊過程中產生的甲醛等;(3)中密度纖維板有機廢氣主要包括熱磨製漿過程產生的有機廢氣、施膠和纖維乾燥過程產生的有機物、纖維板熱壓過程產生的有機廢氣。

    七、家具製造

    家具製造業中,以木質家具、金屬家具和軟體家具的產量最大(佔家具總產量的95%左右)。木質家具主要部件由木材或木質人造板材料製成的家具;金屬家具主要部件由金屬材料製成的家具;軟體家具主要部件一般採用彈性材料和軟質材料製成的家具。

    家具製造企業主要的VOCs排放產生於調漆和塗裝環節,常見的有機化合物包括:苯、甲苯、二甲苯、醋酸丁酯、丙酮、丁酮、環己酮、丁醇、甲基異丁基酮、醇酸丁酯 。

    八、交通運輸設備製造

    交通運輸設備製造過程中最大的產 VOCs 環節是塗裝工藝。底塗普遍採用陰極電泳塗裝,中塗、面塗少數企業使用水性塗料塗裝,多數為溶劑型塗料塗裝。

    汽車製造

    汽車塗裝生產中電泳底漆烘乾、中塗、色漆和清漆噴塗及烘乾過程均排放大氣汙染物。其中50%來自於中塗、色漆和清漆,30%來自於清洗溶劑。車身密封和噴蠟過程由於PVC和防護蠟固化率高,不易揮發,汙染物排放量相對較小。在中塗、色漆和清漆作業過程中,約80~90%在噴漆室和流平室排放,10~20%在烘乾室中排放。

    船舶製造

    自行車製造

    自行車塗裝生產中噴底漆、面漆及乾燥烘乾過程均排放大氣汙染物。在噴塗烘乾階段作業過程中,約65~70%在噴漆工段排放,20~30%在烘乾工段排放。

    九、皮革製品製造

    皮革製品製造包括皮革服裝製造、皮箱包(袋)製造、皮手套及皮裝飾製品製造、其它皮革製品製造等幾大類,生產過程中產生的汙染物主要為大氣汙染物。其中,箱包生產排放的大氣汙染物較嚴重。

    皮革製品製造業產生的有機廢氣主要來源於粘合、烘乾、清洗等工序,特徵汙染物有甲乙酮、丙酮、乙酸乙酯等。因各企業使用的原輔材料及採用的工藝流程有所差異,可能存在的汙染物還包括正己烷、二氯甲烷、二氯乙烷、三氯乙烯、異丙醇等。

    十、製鞋業

    製鞋生產過程主要包括鞋面的加工和鞋底加工,再經流水線成型組合。

    汙染物主要是有機廢氣,產生有機廢氣的工序主要有:

    (1)鞋面商標印刷時,油墨揮發產生的有機廢氣,油墨主要成分是色料,其稀釋劑一般為苯類、烷烴類和酮類,在油印乾燥過程該有機溶劑成分揮發進入周圍環境;

    (2)鞋面材料高頻壓型工序產生的廢氣,皮革高頻產生的廢氣屬惡臭氣體範疇。

    (3)鞋底材料EVA(乙烯-乙酸乙烯酯共聚物)、MD(或PHYLON)發泡過程,TPR(熱塑性橡膠)、PVC(聚氯乙烯)注塑加熱狀況下產生的有機廢氣,該氣體屬高分子聚合物受熱發生分子降解,釋放出單體式低聚物,降解量與溫度、加熱時間相關,有機廢氣主要成分為單體式低聚物、烯烴等。

    (4)鞋底噴漆過程一般採用溶劑型油漆,該有機成分芳香族樹脂與苯溶劑的混合物,主要用於PVC、塑料、橡膠等材質的噴漆,在使用過程中苯溶劑全部揮發進入大氣。

    (5)鞋底中底貼合、鞋面鞋底粘膠成型過程使用的粘膠劑,最初粘膠劑所使用的溶劑是苯,後改用甲苯作溶劑。同時還有使用酮類酯類做溶劑的聚氨酯膠粘劑。由於粘膠劑中有機溶劑含量較高,所以是製鞋過程中有機廢氣排放最多的環節。

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