其主要過程為:土壤中的水分→根毛→根內導管→莖內導管→葉內導管→氣孔→大氣.植物幼小時，暴露在空氣中的全部表面都會蒸騰。

方式分類

皮孔蒸騰

木本植物經由枝條的皮孔和木栓組織的裂縫的蒸騰，叫做皮孔蒸騰。但是皮孔蒸騰的量非常小，約佔樹冠蒸騰總量的0.1%。

角質層蒸騰

通過葉片和草本植物莖的角質層的蒸騰，叫做角質層蒸騰，約佔蒸騰作用的5%~10%。幼嫩葉子的角質蒸騰可達總蒸騰量的1/3到1/2。一般植物成熟葉片的角質蒸騰，佔總蒸騰量的5%~10%。長期生長在乾旱條件下的植物其角質層蒸騰更低，其蒸騰總量小於5%。

氣孔蒸騰

通過氣孔的蒸騰，叫做氣孔蒸騰，氣孔蒸騰是植物蒸騰作用的最主要方式。

氣孔是植物進行體內外氣體交換的重要門戶。水蒸氣(H2O)、二氧化碳(CO₂)、氧氣(O2)都要共用氣孔這個通道，氣孔的開閉會影響植物的蒸騰、光合、呼吸等生理過程。

氣孔是植物葉片表皮組織的小孔，一般由成對的保衛細胞(guard cell)組成。保衛細胞四周環繞著表皮細胞，毗連的表皮細胞如在形態上和其它表皮細胞相同，就稱之為鄰近細胞(neighbouring cell)，如有明顯區別，則稱為副衛細胞(subsidiary cell)。保衛細胞與鄰近細胞或副衛細胞構成氣孔複合體。保衛細胞在形態上和生理上與表皮細胞有顯著的差別。