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paocai
2023-11-26 10:23
掃描電鏡SEM/EDX測試的井深是多少?
3
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1 # 用戶2950714875191416
```` 應該是景深吧`` 焦深計算公式 L= ±[(r/M)-d]/2α 其中: L: 焦深 r: 顯像管最小分辨距離 M:放大倍數 d:入射電子束直徑 2α:物鏡孔徑角。
從上面的式子可以看出影響焦深的因素,其中隱含了工作距離w。物鏡孔徑角與工作距離和入射電子束直徑有關。由於r(顯像管的分辨率)和2α都是未知數,實際上不能計算。焦深也只是個人的視覺感受,還是直觀的測量一下為好。又查了資料``顯像管最小分辨距離為0.22mm-0.3mm, 孔徑角的典型數值為10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以計算出在有效放大倍率下的焦深數據。設d=3納米,孔徑角2α=10-2 rad,r=0.3mm。計算焦深如下: 1000倍下為59.4微米。5000倍下為11.4微米。10000倍下為5.4微米。超過100000倍已經超過了有效放大倍率。不能計算。
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```` 應該是景深吧`` 焦深計算公式 L= ±[(r/M)-d]/2α 其中: L: 焦深 r: 顯像管最小分辨距離 M:放大倍數 d:入射電子束直徑 2α:物鏡孔徑角。
從上面的式子可以看出影響焦深的因素,其中隱含了工作距離w。物鏡孔徑角與工作距離和入射電子束直徑有關。由於r(顯像管的分辨率)和2α都是未知數,實際上不能計算。焦深也只是個人的視覺感受,還是直觀的測量一下為好。又查了資料``顯像管最小分辨距離為0.22mm-0.3mm, 孔徑角的典型數值為10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以計算出在有效放大倍率下的焦深數據。設d=3納米,孔徑角2α=10-2 rad,r=0.3mm。計算焦深如下: 1000倍下為59.4微米。5000倍下為11.4微米。10000倍下為5.4微米。超過100000倍已經超過了有效放大倍率。不能計算。