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【12月22日訊】導語,相信大家都知道,在全球眾多光刻機裝置廠商中,唯獨荷蘭ASML能夠生產製造用於7nm、5nm以及3nm以下的EUV光刻機裝置,而對於日本尼康、佳能、中國上海微電子所生產的光刻機水平依舊維持在14nm及以上工藝,而目前上海微電子即將在明年交付28nm浸潤式光刻機,在詳細對比了ASML光刻機和國產光刻機裝置的差距以後,很多網友們都紛紛直言:“國產光刻機至少落後十年.....”

確實目前ASML公司所生產的頂級EUV光刻機裝置,並不是ASML一家廠商獨立生產出來,而是集合了全球最頂級的光學技術、精密儀器技術、裝置等等, 並且很多資源都是獨家供應ASML公司的資源,所以ASML公司才成為了全球唯一可以生產EUV光刻機的廠商,所以只要全球任何一家光刻機廠商,能夠整合ASML公司的技術、裝置資源,那麼也可以快速造出EUV光刻機,目前ASML公司所生產的EUV光刻機裝置,主要由德國TRUMPF公司提供整體的EUV光源系統方案(EUV光刻生產)、德國蔡司半導體提供的是EUV的控制技術方案(布拉格反射器用於收集、控制EUV光束)以及光刻機技術(絕大部分來自於ASML公司以及德國方面);

在整個EUV光刻機裝置中,ASML公司的技術佔比也只能夠達到10%-15%左右,當然ASML公司之所以能夠獲得如此之多獨家供應資源,也是因為ASML公司還是很多供應商的股東,例如ASML公司先後入股了德國TRUMPF公司、德國蔡司半導體,同時很多晶片代工巨頭也入股了ASML公司,例如Intel、臺積電、三星等等,可以說ASML公司也是直接整合了上下游廠商,讓整個晶片供應鏈企業都圍繞ASML公司服務,保障了EUV光刻機裝置的全球獨家;

因為ASML公司不僅僅可以獲得全球最頂尖的資源,同時還可以在最後一步光刻機生產製造驗證過程上,得到臺積電、三星、Intel的大力支援,可以和晶片製造廠商們一起除錯EUV光刻機裝置;如果日本尼康、佳能、中國上海微電子也可以的得到相同的資源支援,一樣可以在不斷地除錯過程中將EUV光刻機造出來,並不需要所謂的10 年,甚至是20年,也不需要所謂ASML公司的光刻機圖紙。

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