來自清華大學官網訊息，【清華大學工程物理系教授唐傳祥研究組與來自國外合作團隊在《自然》上發表了題為《穩態微聚束原理的實驗演示》的研究論文，報告了一種新型粒子加速器光源“穩態微聚束”（SSMB）的首個原理驗證實驗。】有望應用於光刻機等領域！

踏入2021年，關於禁令貌似還沒有停下的意思，那麼華為在麒麟9000消耗完之後真的只能重走4G這條“回頭路”嗎？

到底是5G技術的領頭羊之一，道路千萬條，總有一條是出路！

華為發展雲伺服器這一未來大殺器，雲電腦和雲手機都已經推出商用模式，那麼#華為雲手機能替代5nm 3nm高階機麼#？不造芯可以嗎？

首先要知道華為雲手機是基於華為公有云上的虛擬機器服務，硬體上依賴華為自研泰山伺服器支援：搭載鯤鵬處理器，專業級GPU硬體加速，可執行大型遊戲，相容原生指令等等特性，資訊資料儲存在雲端也保證了資訊的安全；端雲同構，相比以往模擬器方案，虛擬手機執行效能提升達80%。

但虛擬手機畢竟也是建立在伺服器上，而伺服器也是需要由晶片驅動，根本的問題始終迴歸到了造芯這個“卡脖子”的點上！

另外，中芯國際若成功推出新封裝技術倒也能解決部分晶片的燃眉之急，但長遠之路最根本問題依舊是光刻機！

目前國產光刻機最需要面對的核心難題之一就是光源！ASML的高階EUV光刻機，使用的是：半導體曝光用鐳射光源大型廠商美國Cymer提供的LPP（鐳射等離子體）技術。

據瞭解，其工作原理是：一束高能的二氧化碳鐳射照射一個30微米的錫球，產生LPP光源，然後等離子體輻射出波長13.5奈米的EUV光源，透過反射鏡收集並用於光刻曝光！

而從國內引進EUV高階光刻機之路的無比坎坷情況來看，由美國所掌握LPP光源技術也是無法引進合作的，想要獲得這項技術授權就像是要去火星買紙尿褲一樣——等到不知哪個猴年馬月的事！

此次清華團隊新成果有望助力國產光刻機研發 ！基於SSMB的EUV光源為大功率EUV光源的突破提供全新的解決思路。有望解決自主研發光刻機中最核心的“卡脖子”難題。

SSMB光源“穩態微聚束”（Steady-state microbunching）原理：採用鐳射來對電子進行聚束，相比同步輻射光源常用的微波，聚束系統的波長縮短了5到6個數量級…

由清華大學工程物理系唐傳祥教授的團隊與來自HZB以及德國研究院的合作成果，“穩態微聚束原理的實驗演示”研究論文：一種新型粒子加速器光源“穩態微聚束”的首個原理驗證實驗【高功率、高重頻、窄頻寬的相干輻射，波長可覆蓋從太赫茲到極紫外（EUV）波段】…

唐傳祥教授表示“光刻機需要的EUV光，要求是波長短，功率大。”SSMB光源未來有望應用於EUV光刻等領域。

5nm技術的量產讓造芯走上一個新的高度，也讓國產造芯迎來一個更高的挑戰，曾經在上海微電推出90nm光刻機時，我們被他們先進的45nm光刻機引進了“造不如買”的騙局裡。接下來3nm技術會是更尖端的挑戰，此時不追更待何時？

不得不說，新的光源技術的出現距離國產高階光刻機又邁近了一步，雖然不是幾年內可以解決的事，畢竟一臺高階光刻機可是上萬個零件同時運作的機器，它是需要多方技術集合才能打造而出的科技藝術品——但不怕做不到，就怕不去做。萬里長征當踏出第一步時，終贏來最後一步的勝利！