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荷蘭ASML公司是全球唯一的EUV光刻機供應商,目前該公司的光刻機技術已經達到了5nm甚至3nm的水平,不過ASML公司不只是光刻機厲害,最近ASML公司正式宣佈了另外一個新產品--第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000,這臺裝置適用於5nm和更先進的製程工藝,並且工作效率提升600%。

隨著製程工藝的不斷提升,晶圓的製造要求也越來越高,所以晶圓中的錯誤也多了起來,而HMI eScan1000就是一套基於HMI多光束技術的檢測系統,通過這套檢測系統可以根據反射回來的電子束成像來分析晶圓質量,並有高速執行的平臺以控制測試的晶圓數量,這樣可以大大減少錯誤的發生。

說到您的工作效率,HMI eScan1000裝置可以同時產生、控制九道電子束,所以說它的工作效率提升了600%。

轉過頭來看大陸晶片製作的發展階段,目前大陸只有一家光刻機廠商--上海微電子(SMEE),相比於荷蘭ASML公司可以說有不可鴻越的差距。

目前,上海微電子(SMEE)只能生產製造90nm的光刻機,而荷蘭ASML卻可以生產製造7nm甚至5nm的光刻機,這之間的差距一目瞭然,上海微電子(SMEE)想要趕上荷蘭ASML的腳步可不是一年兩年的事。

雖然說上海微電子(SMEE)的實力還沒有荷蘭ASML那麼強,不過上海微電子佔據著大陸80%以上的市場份額,目前大陸市場上大部分的智慧手機使用的晶片都是通過上海微電子(SMEE)生產。

目前大陸的晶片技術發展可謂是舉步維艱,無法掌握先進的光刻機制造技術,這意味著大陸依舊需要依賴國外製作的先進光刻機,而在這種形勢下,國外的光刻機制造商都不買中國的賬,所以在這方面的進展幾乎是0。

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