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中企正式官宣

晶片製造是一項非常複雜的工作,每一個環節至少需要幾十道步驟,其中涉及的裝置,材料和技術等等,都不能出現一點紕漏。晶片製造所用的光刻機,塗抹晶片所用的光刻膠以及使用裝置製造晶片的製程技術等等,都要確保萬無一失。

到底哪一個最重要,答案是缺一不可。但是要想實現晶片生產,還需一步步解決各項製造上的問題。比如製造晶片初步環節時的光刻膠。

光刻膠是一種材料,一顆晶片需要嵌入很多層的積體電路,架構其一層層的電路。可是電晶體積體電路是容易受損的,為了保護晶片效能,會在表面塗抹光刻膠。

主要的作用在於保護,不同光刻膠對應不同工業積體電路晶片,越是複雜的高階晶片,則需要用上質量越好的光刻膠。一直以來,光刻膠產業都被日本掌握在手中,不過這一次中企巨頭正式官宣好訊息,事關光刻膠。

在晶瑞股份的2020年業績說明會上,晶瑞股份董事長吳天舒表示道,公司已經對KrF(248nm深紫外)光刻膠完成了中試,解析度達到了0.25~0.13μm的技術要求,並且建立起了中試示範線。

中企巨頭晶瑞股份官宣了旗下光刻膠產品的進展,這對國產光刻膠產業來說,是有重大意義的。另外晶瑞股份I/G線光刻膠產品已經能夠用於8英寸車規級晶片的製造工作。

晶片製造難題,或得到解決?

晶瑞股份是國內領先的光刻膠巨頭,有深厚的經驗。值得一提的是,在高階光刻膠領域的探索方面,晶瑞股份也專門購得了一臺光刻機。今年1月份中下旬晶瑞股份釋出公告稱,經過多方協作,成功購得ASML XT 1900 Gi 型光刻機。

這臺光刻機最高可用於解析度達28nm的高階光刻膠,一旦成功研製出28nm光刻膠,將意味著國產光刻膠產業正在崛起。未來我國掌握先機的高階晶片製造工藝,在光刻膠重要材料上的問題,就能得到供應。

如此一來,晶片製造所面臨的材料難題,或將得到解決。畢竟光刻膠也是晶片製造的重要步驟。而光刻機來了,想必進入到晶瑞股份的生產線也有一段日子。

不過需要注意的是,晶瑞股份購買的這臺光刻機是二手的,而且並非用於生產晶片,而是用作研究目的。旨在透過該光刻機實現對高階光刻膠產品的研發,技術攻克。

國產光刻膠的崛起

晶片製造所需的材料問題,我們已經有了相應的佈局和進步。在國產光刻膠領域,不只是晶瑞股份,包括南大光電的ArF光刻機也通過了客戶驗證,達到良率要求的水準。

而且除了晶瑞股份購得光刻機之外,上海新陽購買的ASML-1400光刻機也完成交付,對193nmArF幹法光刻膠的研發有重要意義。

晶瑞股份、南大光電、上海新陽等國內領先的光刻膠企業巨頭們,都有了不錯的國產光刻膠製造水準。後續需要做的就是在現有的基礎上做得更好,把國產光刻膠逐步提升到高階水準。

國產光刻膠的崛起已經開始了,等高階光刻膠研發到位,晶片製造剩餘的步驟環節,也必將一一攻破。

總結

光刻機來了,已經進入到晶瑞股份的生產線。不管是光刻機還是光刻膠,都是中國未來努力的方向。我們並非一竅不通,在光刻機領域有中科院的入局,清華大學的光源進步,上海微電子的整機裝備。

在光刻膠晶片材料方面,晶瑞股份,上海新陽都曾購得過光刻機用於先進光刻膠研發。或許還需要更多的時間,只待有朝一日徹底解決晶片卡脖子問題。

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