目前所使用到的硫酸雙氧水體系微蝕液存在微蝕不穩定、微蝕後板面易氧化、溶銅量低,不耐氯離子的問題。現有的銅蝕刻液銅離子容忍度不高,一般商業化的產品達到35g/L就需要更換槽液,頻繁的換槽給生產成本帶來比較大的挑戰,另外大量的廢水排放處理也比較麻煩。當通過添加特殊的銅離子絡合劑提高溶液中銅離子含量時,銅蝕刻速率會下降很快,銅蝕刻速率下降在工業化生產中就失去意義。
基本成份
3080ml/L的過氧化氫溶液
50120ml/L的硫酸
0.510ml/L的環胺衍生物
0.25g/L的氨基三甲叉膦酸,
210g/L的有機酸鹽,
210g/L的水溶性木質素,
0.23g/L含磷助劑,
530ml/L聚四氟乙烯分散液,溶劑為水
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