據介紹，在22日召開的投審會上，臺積電針對這項海外投資案表示，臺積電這次申請34.69億美元增資，規劃在美國亞利桑那州鳳凰城設定12吋晶圓廠，預計2024年上半年生產5nm製程產品，可滿足北美市場對先進製程產品強勁需求。

投審會表示，臺積電已先行於今年12月以3,000萬1,000美元在美國設立TSMC ARIZONA CORPORATION公司，並核備，另外申請以34.69億美元對前述美國投資事業增資。

臺灣經濟部表示，臺積電赴美投資是商業考量，但同時對臺美供應鏈合作有利。臺積電過去五年的總營收仍以美國客戶為多數，因此赴美投資主要考量為接近客戶，同時也強化全球佈局，相信臺美雙方能建構更完整的半導體供應鏈合作，也帶動整體高科技產業的發展。

經濟部表示，臺積電今年已在臺製造5奈米產品，本次赴美投資預計在2024年第一季在美國生產5奈米產品，技術上臺積電在臺灣仍保有至少一個世代技術優勢。

投審會執秘張銘斌表示，由於5nm屬於先進製程，全球需求相當大。至於赴美是否會影響我國產業佈局，張銘斌說，臺灣半導體技術在3nm已有初步成果，相關製程也往2nm邁進，因此臺積電赴美設廠投產應是2024年之後，對相關技術影響不大，實際情況仍會注意。

臺灣工業局副局長楊志清則說，因當地有需求，且因疫情打亂全球供應鏈，企業會考慮轉為在地生產，尤其是科技產業因過去美中貿易戰影響，產業會重新規劃佈局，只要客戶有需求且不影響原有生產，企業一定會重新規劃未來發展。工業局並強調，臺積電赴美投資是臺美供應鏈相當密切，且有助雙方產業合作深化。