一、半導體裝置作為自主可控的關鍵環節，是未來政策重點發展方向；目前晶片製造行業持續高景氣，有望帶動大量國產半導體裝置需求
1、目前晶片製造景氣度已持續將近2個季度，將逐漸傳導至上游裝置和材料領域「價值投研」在11月24日《【晶片】深度剖析行業高景氣度》一文中指出，目前晶片全產業鏈均維持高景氣，不管是前段晶圓代工還是後段封測，晶片產能全線吃緊，並對高景氣度進行了深度剖析。
近日，之前宣佈不漲價的臺積電計劃在2021年取消12英寸晶圓代工折扣，相當於變相漲價；意法半導體表示，決定自2021年1月1日起調漲全線產品價格；群聯8年來首次上調NAND Flash控制晶片報價，最高漲幅達20%；某臺灣老牌晶圓代工廠提前將明年二季度的部分8英寸產能，以競標方式分配給客戶，每片晶圓價格因此拉高30%-40%；12月23日，韓國晶片代工廠DB HiTek決定提高2021年的代工價格，最高上調20%，三星和SK海力士也計劃提高8英寸晶圓代工價格。
晶圓代工大廠聯電總經理表示，8英寸晶圓代工產能吃緊的情況至少延續明年一整年。同時世界先進董事長強調，現在半導體市場景氣及需求很熱是真實的需求，產能供不應求可以延續到2021年第三季度。
目前晶片製造景氣度已持續將近2個季度，將逐漸傳導至上游裝置和材料領域。從歷史經驗看，半導體裝置和材料的資本支出基本和晶片銷售規模趨勢保持一致。晶片製造產能利用率高企帶動更多的半導體材料消耗量，同時高景氣也驅動代工廠花錢購買更多的裝置進行擴產。
裝置方面，SEMI（國際半導體產業協會)近期公佈，11月北美半導體裝置出貨金額達26.12億美元，同比增長23.1%，已實現連續14個月的同比增長。SEMI預計2020年全球半導體制造裝置銷售總額將創下689億美元的新紀錄，同比增長16%，並預估2021年將達到719億美元。
國內當下產能的瓶頸是在後端封測，華峰測控、長川科技等國產封測裝置公司將受益於封測廠擴產能，同時高景氣也將帶動明年前端製造擴產加速。中芯國際、華虹半導體、士蘭微等產能均在爬坡建設中，同時以長江儲存、合肥長鑫為代表的大陸儲存器廠商在2020-2022年的投資規模分別達到495.0億元、806.0億元、1116.3億元，帶動大量裝置需求。12月14日，大基金二期領銜投資合肥長鑫母公司睿力整合156.5億元，加速合肥長鑫擴產。
2、美國製裁落地和中芯國際近期人事變動可能意味著中芯國際未來戰略發展方向上的大轉變，有望提升國產裝置的需求12月18日晚間，美國商務部工業和安全域性（BIS）將中芯國際列入實體清單，原則上禁止向中芯國際出口專門用於10nm及以下先進工藝的裝置等產品。
「價值投研」在12月20日《【中芯國際】被美國列入實體清單》一文中指出，美國製裁落地和中芯國際近期人事變動可能意味著中芯國際未來戰略發展方向上的大轉變，從之前追趕先進製程技術，轉向做大成熟製程以及先進封裝。
去美化的晶圓廠最大的增量在於中國大陸的刻蝕、PVD、清洗、氧化等裝置。而國內半導體裝置廠商經過多年研發，已經在成熟製程方面積累深厚，並且部分裝置已進入全球高階領域。
「價值投研」在8月13日《【晶片】國內能否搭建28nm自主生產線？》一文中指出，未來1-2年內有望實現28nm及以上製程全國產半導體裝置生產線的搭建。 12月4日，中芯國際子公司中芯控股、大基金二期和亦莊國投共同成立合資企業，註冊資本為50億美元，總投資額為76億美元，將生產28nm及以上12英寸積體電路晶圓製造和封裝產品。
若中芯國際加大成熟製程的投資力度，則會進一步提升整個上游供應鏈（裝置、材料、IP/EDA）的需求。
3、半導體裝置作為自主可控的關鍵環節，將得到政府的大力推動而迎來快速發展12月16-18日舉行的中央經濟工作會議將“強化國家戰略科技力量”和“增強產業鏈供應鏈自主可控能力”作為2021年八項重點任務的前兩位。半導體裝置作為自主可控的關鍵環節，將得到政府的大力推動而迎來快速發展。
國外公司依然佔據全球半導體裝置最主要的市場份額，多數裝置國產化率不足20%。但經過多年努力，我國在半導體裝置領域已經取得了從零到一的突破。比如中微公司介質刻蝕機已經打入臺積電5nm製程，北方華創矽刻蝕進入中芯國際28nm生產線，Mattson（屹唐半導體）在去膠裝置市佔率全球第二，盛美半導體單片清洗機進入海力士、長江儲存產線。 4、大基金二期預計將撬動8000億資金，預計國產裝備和材料領域將會是大基金二期的重點發力方向「價值投研」在11月2日《【半導體】大基金二期近期頻繁出手》一文中詳細介紹了大基金二期。
隨著國內疫情基本控制，十四五規劃很快出臺的背景下，10月16日以來，大基金二期頻繁出手，連續投資了沛頓儲存、思特威、智芯微、睿力整合、中芯國際、納思達子公司艾派克。在大基金一期的投資金額中，製造、設計、封測、裝備材料板塊分別佔比67%、17%、10%、6%，裝備材料投資額偏低。
大基金二期預計將撬動8000億資金，結合大基金總經理的表態，在繼續支援國產半導體設計、製造、封測企業的同時，預計國產裝備和材料領域將會是大基金二期的重點發力方向。12月21日，長川科技釋出公告稱，擬聯合大基金二期、天堂矽谷杭實對子公司增資8.9億元，這是大基金二期第一次投資國產半導體裝置公司。
二、A股半導體裝置公司巡禮：11人足球隊目前A股半導體裝置公司主要包括北方華創、中微公司、華峰測控等11家企業，按照晶片製造流程的矽片製造-晶圓製造-封裝測試可排出足球中的4-5-1陣型。
前鋒：矽片製造裝置核心公司晶盛機電
1、【晶盛機電】矽單晶爐技術國內領先，充分受益矽片行業擴產公司矽單晶爐技術領先，在國內高階市場佔有率第一，具備8英寸矽片晶體生長、切片、拋光、外延加工裝置全覆蓋，12寸矽片長晶爐也進入小批次產階段。2019年，公司矽單晶爐實現營收21.73億元，佔比近70%。在矽片國產化驅動下，國內滬矽、中環領先、神工、合晶、中欣晶圓等矽片企業紛紛擴產，截至2020年三季度末，公司在手半導體裝置訂單4.1億。預計2021-2023年公司裝置訂單有望超45億元。
中場：晶圓製造裝置核心公司北方華創、中微公司、萬業企業、芯源微、賽騰股份
2、【北方華創】國內最大的半導體裝置平臺，矽刻蝕機突破14nm技術公司主營業務包括半導體裝置、鋰電/真空裝置、電子元器件三大類，2020H1營收佔比分別為60.3%、19.3%、20.3%。 北方華創半導體裝置產品覆蓋刻蝕裝置、PVD/CVD裝置、氧化/擴散裝置、清洗裝置等多個領域，是目前國內最大的半導體裝置平臺，目前已具備28nm裝置供貨能力，矽刻蝕機已突破14nm技術。
公司的刻蝕機、爐管、PVD裝置已進入長江儲存、中芯國際、華虹等多家國內廠商的供應鏈。12月11日，公司宣佈ICP刻蝕機1000腔順利交付，具有里程碑意義。
此外，公司碳化矽（SiC）長晶爐、刻蝕機、PVD、 PECVD等第三代半導體裝置開始批次供應市場，將為後續業績提供一定增量。
3、【中微公司】 國內唯一支援7nm/5nm刻蝕裝置，充分受益於晶圓廠的產能擴張公司主要產品包括刻蝕裝置、MOCVD裝置、VOC裝置等，其中等離子體刻蝕裝置是國內唯一達到7nm/5nm製程的產品，已進入全球領先晶圓製造企業5nm產線，同時矽刻蝕、金屬刻蝕裝置也已進入客戶端驗證階段。公司在氮化鎵基LED MOCVD行業處於領先地位，目前正在研發用於Mini LED、Micro LED、功率器件生產的MOCVD裝置。
4、【萬業企業】凱世通離子注入機獲商業化認可，實現國產替代零的突破公司主營業務為房地產（98%）和專用裝置製造（2%），透過收購凱世通進入半導體裝置領域，同時投資了飛凱材料、精測電子、長川科技等半導體裝置和材料公司。12月1日，凱世通向芯成科技出售低能大束流重金屬離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機，以及高能離子注入機，總金額超1億元。
本次訂單代表凱世通的離子注入機獲得了商業化認可，實現了國產替代零的突破。12月22日，公司聯合境內外投資人以3.98億美元收購Compart Systems 100%股權，其中公司投資6億元人民幣，將間接持有Compart公司33.31%股權，成為第一大股東。Compart是全球領先的氣體輸送零元件及流量控制解決方案供應商，本次收購彌補了國內半導體裝置在該領域的不足。
5、【芯源微】塗膠顯影裝置打破國外壟斷，單片式溼法清洗裝置擴寬業務邊界公司自2002年成立以來深耕塗膠顯影裝置，已經在LED晶片製造及積體電路後道封裝等環節實現進口替代，目前正向前道擴充套件；2017年公司開拓單片式溼法清洗裝置業務，近兩年實現較快增長。
目前兩大業務營收佔比分別為54%和46%。TEL（東京電子）在國內塗膠顯影裝置市佔率約91%，國產廠商僅芯源微一家，市佔率約4%。公司積體電路客戶主要包括臺積電、上海華力、中芯國際、長江儲存、華天科技、長電科技、通富微電等。公司生產的單片式溼法裝置目前廣泛用於晶圓後道封裝，另外前道清洗機也在中芯國際、上海華力等多個客戶處透過工藝驗證，並已獲得國內多家晶圓廠商訂單。
6、【賽騰股份】蘋果核心供應商，透過併購切入半導體檢測裝置領域賽騰股份是國內領先的3C自動化裝置生產企業，2016年切入TWS耳機模組裝置領域，是蘋果核心供應商。2018年7月，公司以0.61億元收購無錫昌鼎電子51%股權；2019年5月，公司以 1.64億元收購Optima株式會社67.53%股權，2020年6月，公司對Optima完成增資，增資後持股73.75%。無錫昌鼎主營晶片後道封裝檢測裝置，主要產品是半導體元件的封裝測試、視覺檢測自動化裝置；Optima株式會社主營晶片前道晶圓檢測，主要產品是半導體晶圓檢查裝置和曝光裝置。後衛：封裝測試裝置核心公司華峰測控、長川科技、華興源創、精測電子
7、【華峰測控】國內最大的半導體自動化測試系統及配件供應商華峰測控是國內最大的半導體自動化測試系統及配件供應商，2019年實現營收2.6億元，其中測試系統、配件業務營收佔比分別為93.4%、6.6%。公司目前在模擬及數模混合類積體電路自動化測試系統領域處於國內領先地位，並已實現進口替代，在國內模擬測試系統領域市佔率超過40%，客戶包括長電科技、華天科技、通富微電、華潤微電子、華為、意法半導體、日月光集團等核心公司。2020年2月，公司IPO募集資金15.1億元，將擴大模擬及混合類積體電路自動化測試系統產能，還將進入SoC類積體電路和大功率器件自動化測試領域。
8、【長川科技】研發國內首臺具有自主智慧財產權的全自動超精密探針臺長川科技主要產品包括積體電路測試機、分選機等，2020年上半年實現營收3.2億元，其中分選機、測試機業務營收佔比分別為70.5%、17.7%。公司已成功研發國內首臺具有自主智慧財產權的全自動超精密探針臺，可應用於8/12英寸晶圓測試，整體精度達到國際領先水平，目前已在客戶處進行產品驗證；在第二代探針臺研發方面也已取得階段性進展。公司2019年收購新加坡半導體測試裝置公司STI，STI主要產品核心效能指標達到國際領先水平，客戶包括德州儀器、美光、意法半導體、三星、日月光、安靠等國際知名企業。此外，公司還持有國內半導體測試介面供應商法特迪10%股權，法特迪主要產品為測試插座、探針卡等，客戶包括矽品科技、博世、瑞芯微、星科金朋等。
9、【華興源創】面板檢測裝置領軍企業，半導體檢測裝置實現零的突破華興源創主要從事平板顯示( LCD/OLED)、積體電路以及汽車電子的檢測裝置研發生產，當前主要產品涉及檢測裝置及治具兩大部分，分別佔營收69%、28%。在面板檢測裝置領域，公司幫助京東方實現OLED檢測裝置進口替代及量產匯入，使其成為繼三星後國內第一家柔性OLED面板量產廠商。在半導體檢測裝置領域，公司在BMS（電源管理系統）晶片檢測裝置佈局成果已實現零的突破，並在2020年獲得訂單超3億元。 10、【精測電子】以面板檢測業務為中心，佈局半導體檢測裝置精測電子以面板顯示檢測裝置起家，近年積極佈局半導體、新能源檢測領域。目前公司營收中52%來自OLED調測系統，40%來自AOI光學檢測系統。公司透過上海精測佈局前道膜厚量測檢測裝置，已匯入長江儲存等下游晶圓廠，透過武漢精鴻與收購的WINTEST佈局後道ATE檢測。
門將：高純工藝整合系統供應商至純科技
11、【至純科技】唯一可提供12英寸晶圓製造高純工藝系統解決方案的國產廠商，並在半導體清洗裝置領域發展迅速至純科技是國內領先的高純工藝整合系統供應商，並在半導體清洗裝置領域發展迅速，2019年實現營收9.9億元，其中高純工藝整合系統、半導體清洗裝置營收佔比分別為64.8%、8.3%。
公司是目前唯一可提供12英寸晶圓製造高純工藝系統解決方案的國產廠商，客戶包括臺積電、三星、海力士、上海華力、中芯國際、長江儲存、合肥長鑫、士蘭微等知名企業。公司半導體清洗裝置覆蓋28-65nm製程並擁有14nm技術儲備，可應用於8/12英寸晶圓製造領域，產品分為槽式清洗裝置和單片式清洗裝置。公司槽式清洗裝置在2019年已開始批量出貨，客戶包括臺灣力晶等；單片式清洗裝置運用世界最先進的Lenuoscri技術，在國內具有技術領先優勢，已有產品交付華虹集團。
替補：半導體潔淨室總包廠商亞翔整合和太極實業亞翔整合是國內領先的半導體潔淨室總包廠商，已承建多座高階潔淨室工程專案，公司營收全部來自潔淨室工程施工。
亞翔整合是臺灣亞翔工程在國內的子公司，客戶包括聯電、南亞、日月光、天馬、華星、緯創等。太極實業主營包括半導體業務、工程技術服務業務、光伏電站投資運營業務和材料業務。其中，工程技術服務收入佔比71.4%，半導體業務收入佔比25.9%，主要涉及晶片封裝、封裝測試、模組裝配及測試等。
國內潔淨室市場從2015年的780億元增長到2019年的1220億元。由於行業壁壘較高，亞翔整合和太極實業受益於研發能力與施工經驗的積累，在國內市場處於領先地位。