12月29日訊息，中微公司公告，擬以1億元對上海睿勵進行增資，本次增資完成後，上海睿勵註冊資本增加，而中微持有上海睿勵股權比例也將超過20%。

中微公司主要從事高階半導體裝置的研發、生產和銷售，包括半導體積體電路製造、先進封裝的高階裝置等，其等離子體刻蝕裝置中7nm/5nm刻蝕技術為國內唯一，MOCVD裝置已大規模投入生產。

對於上海睿勵，其專注於積體電路生產前道工藝檢測領域裝置研發和生產，是國內寥寥幾家進入國際領先的 12 英寸生產線的高階裝備企業，目前正在開發下一代可支援更高階晶片製程工藝的膜厚和OCD測量裝置以及應用於晶片生產的缺陷檢測裝置，進一步擴大市場規模。

眾所周知，積體電路晶片生產裝置包括光刻、刻蝕、薄膜、工藝檢測等多個細分門類。工藝檢測裝置，顧名思義，是為晶片生產各工藝提供監測資料以確保工藝指標滿足要求從而提高成品率的關鍵性裝置。

編者認為，雖然這個環節不及前面三個那麼有名，甚至可以算得上是“二流環節”了。但根據SEMI的資料顯示，工藝檢測裝置市場規模已佔半導體晶片製造工藝裝置的10%以上，甚至最新達到13%，也是僅次於前三大細分裝置，其實也算得上是主流環節了。關鍵的是，隨著晶片工藝不斷演進，生產過程中的所需檢測的頻次和步驟也不斷增加，對工藝檢測裝置的需求和要求也越來越高。

近年積體電路各類裝置銷售額佔比

無獨有偶，企查查顯示，上海理想萬里暉薄膜裝置有限公司日前發生工商變更，新增股東中微公司等，同時公司註冊資本也有大幅增加。理想萬里暉主營薄膜、光伏電池、平板顯示屏生產專用裝置等。

不僅如此，早前，中微也透過參股德國鍍膜和膜層改性裝置供應商Solayer；投資國內領先的薄膜裝置公司瀋陽拓荊科技，加大在積體電路薄膜裝置領域進行了佈局。

中微公司近年毛利率情況

因此，中微的強項在於刻蝕裝置等領域，當中研發和市場都取得了一定的成果，而中微頻頻投資同業，也是為了加大對自身半導體裝置薄弱環節的佈局。本次再投資上海睿勵及理想萬里暉等裝置公司，顯然是錦上添花，在刻蝕裝置的基礎上，繼續擴大積體電路裝置領域的總體佈局，甚至打造成為平臺企業，真是有錢任性。

畢竟，中微公司實際控制人為上海國資委，包括第二大股東實控人也為大基金。政府控股背景無疑給它帶來豐富資源和研發、稅收等政策扶持。

因此，中微研發比例也在逐年下降，除了是近年來主營業務高速發展的主因之外，也因其承擔了許多國家科技發展重大專項研發專案，這能夠節省、分攤部分研發投入。

編者認為，對於國產半導體裝置自給率尚不到15%左右的水平，特別是技術含量相對較高的半導體前段裝置，還是過分依賴進口，國內廠商增長的潛力巨大，這也是中微縱然同業相對低端也要“蠶食”的原因了。

從外部環境看，在國家推進國產替代主旋律之下，國內已規劃晶圓廠投資額達1.5 萬億，這也讓國產裝置廠商迎來機遇期。今年初長江儲存就引領了新一波的採購週期。因此，在長江儲存、華虹繫帶動半導體裝置採購的基礎上，粵芯、積塔、長鑫以及中芯國際等多條產線，也紛紛開啟國產裝置採購的新週期，每條產線拉動效應也將數倍增大。

資料顯示，不僅在今年，全球半導體裝置市場也將於2021年持續回暖。編者留意到，國內的裝置增長預期也是同步的，而記憶體支出回升力道將轉強，動能也主要來自前段製造商投資10nm以下先進製程裝置，其中更以晶圓代工與邏輯晶片製造投資為主。

各地區半導體裝置銷售額（單位：十億美元）

值得注意的是，因上海睿勵系中微董事楊征帆擔任現任董事、中微董事朱民在過去一年內擔任董事的企業，同時中微董事沈偉國繫上海睿勵過去一年內第一大股東上海創業投資有限公司的執行董事，故本次投資構成關聯交易，但不屬於重大資產重組。

不過，正因如此，中微與上海睿勵的客戶和供應商有高度重疊，透過本次投資，也期望對產業鏈協同效應有更大的正面影響。