為完善業務佈局，中微半導體裝置（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微半導體”）正在加速產業投資，近日出手投資了兩家半導體裝置廠商。

12月28日，中微半導體釋出公告，公司基於經營戰略發展考慮，擬對睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“上海睿勵”）進行增資。

公告顯示，本次增資，上海睿勵的投前估值為4.14億元，公司擬以現金方式向上海睿勵增資1億元，認購上海睿勵新增註冊資本8333.33萬元，認購單價為1.2元/股（註冊資本）。本次增資完成後，上海睿勵註冊資本增加至4.28億元，公司持有上海睿勵股權比例為20.4467%。

公告介紹稱，上海睿勵成立於2005年6月，致力於積體電路生產前道工藝檢測領域裝置研發和生產，主營產品為光學膜厚測量裝置和光學缺陷檢測裝置以及矽片厚度及翹曲測量裝置等，是國內少數幾家進入國際領先的12英寸生產線的高階裝備企業之一，並且是國內唯一進入某韓國領先晶片生產企業的國產積體電路裝置企業。

公告進一步指出，上海睿勵自主研發的12英寸光學測量裝置TFX3000系列產品，已應用在65/55/40/28奈米晶片生產線並在進行了14奈米工藝驗證，在3D儲存晶片產線支援64層3D NAND晶片的生產，並正在驗證96層3D NAND晶片的測量效能。其應用於LED藍寶石襯底圖形檢測的自動光學檢測裝置，也已成功銷售到眾多國內LED PSS襯底和LED晶片生產線。

上海睿勵正在開發下一代可支援更高階晶片製程工藝的膜厚和OCD測量裝置以及應用於積體電路晶片生產的缺陷檢測裝置，進一步擴大可服務的市場規模。

中微半導體在公告中表示，公司在積體電路刻蝕裝置領域的研發和市場化方面已經取得了一定的成果，前期透過投資國內領先的薄膜裝置公司瀋陽拓荊科技有限公司在積體電路薄膜裝置領域進行了佈局。本次投資上海睿勵將使公司能夠佈局積體電路工藝檢測裝置領域。

此外，公司同上海睿勵的客戶和供應商有高度重疊，透過本次投資，能進一步形成產業鏈協同效應。投資上海睿勵是公司聚焦並落實高階晶片裝置戰略的又一步驟，系公司為完善業務佈局而進行的投資。

此前，中微半導體曾以500萬元的債權向上海睿勵出資，認購上海睿勵416.67萬元新增註冊資本，持股1.2091%。這次是中微半導體對上海睿勵新增投資，交易完成後，中微半導體對上海睿勵的持股比例為20.4467%。

除了上海睿勵外，中微半導體近日還入股了另一家半導體裝置廠商。

企查查資料顯示，2020年12月24日，上海理想萬里暉薄膜裝置有限公司（以下簡稱“理想萬里暉”）發生了股權變更，原股東之一理想能源裝置（上海）有限公司退出，新增中微半導體、三峽綠色產業（山東）股權投資合夥企業（有限合夥）、上海毅達鑫業一號股權投資基金合夥企業（有限合夥）等股東，其註冊資本從8455.33萬元增至1.46億元。

資料顯示，理想萬里暉前身是理想能源PECVD事業部，2012年經過拆分重組，於2013年完成註冊。2020年，理想萬里暉完成A+輪融資，並落戶上海臨港新片區。

官網介紹稱，理想萬里暉主營太陽能、泛半導體和半導體高階PECVD裝備，系列光伏和AMOLED顯示等領域高階PECVD系列產品多次打破國外壟斷、填補國內空白。理想萬里暉表示將繼續致力於前沿高階光伏裝置的研發，並將在現有基礎上延伸產業鏈，開發大面積石墨烯和積體電路半導體領域用PECVD裝置。

根據企查查資料，中微半導體本次認繳出資額為約563.689萬元，持有理想萬里暉3.8499%股權。