12月29日，由中國國際測量控制與儀器儀表展覽會主辦的“感測賦能智慧製造”雲講堂準時開講。煒盛科技研發經理高勝國在直播中做了以“智慧時代感測器產業發展態勢”為主題的線上分享。

高經理在直播中重點分享了基於微奈米材料的MEMS氣體感測器以及基於微奈米材料的柔性壓力感測器、流量感測器、加速度感測器。

目前，氣體感測器的應用日趨廣泛，在物聯網等泛在應用的推動下，其技術發展方向開始向小型化、整合化、模組化、智慧化方向發展。基於MEMS的設計方案將成為未來氣體感測器的主要發展方向之一。

圖｜MEMS氣體感測器的特點

MEMS金氧半導體氣敏感測器採用微電子技術的成膜工藝在矽襯底上澱積金屬氧化物敏感層，利用敏感層下的電阻做加熱器，利用二極體做測溫元件，必要的訊號電路和讀出電路也可以整合在同一矽晶片上。其特點在於將加熱電極、絕緣層和測試電極一層一層依次堆積疊加在一起。

圖｜MEMS氣體感測器微熱板工藝

MEMS氣體感測器選型參考

方向和流體流速感測器對於不同的工業、醫療和環境應用都是至關重要的。流量感測器可在諸如密度測量、粘度測量、流型確定和壁切應力確定等應用中量化氣體和液體流動的方向和速率。

MEMS流量感測器選型參考

奈米柔性壓力感測器是基於奈米智慧材料和仿生感知能力的柔性智慧感知器件，採用了先進的奈米技術、柔性電子學技術、印刷電子技術等前沿技術，透過奈米尺度、介面、結構設計實現微納感測器仿生增強感知。壓力感測器的應用與我們的生活十分貼近，比如智慧手機的壓力屏，內部遍佈壓力感測器。

這類感測器以奈米粉體材料為核心部件，分為電荷型壓電加速度感測器（pC/g）和IEPE型壓電加速度感測器（mV/g）。感測器常用結構有壓縮式、平面剪下式、三角剪下式、環形剪下式。

風電領域是目前使用振動最大的單一領域，水廠水泵機組監測、化工領域應用加速度感測器也越來越普遍。

感測器行業的發展已經進入了一個新的時代，網路感測器、生物感測器、奈米感測器等更尖端的感測器已進入國內市場，進入我們的生活。當前技術水平下的感測器系統正向著微小型化、智慧化、多功能化和網路化的方向發展。

今後，隨著CAD技術、MEMS技術、資訊理論及資料分析演算法的繼續向前發展，未來的感測器系統必將變得更加微型化、綜合化、多功能化、智慧化和系統化。

一般是30多mW

會受到溫度溼度和周圍環境裡干擾氣體影響，可以透過溫溼度補償或者演算法進行修正

MEMS氣體感測器相對於傳統結構的感測器，因為引線沒有受到晶片自身重力的影響，抗震效能優於傳統結構氣體感測器。

功耗更低，量程更全

TWS耳機、點讀筆、可穿戴裝置等很多產品

除本身採用MEMS工藝降低能耗外，可以脈衝供電或者間隔取樣來降低總體功耗。