1、三條產線總投資額大幅增長

長江儲存、華虹無錫與華虹 FaB6 三條產線是 2019 年的主要推動力，同時積塔半導體對於廠商的訂單金額也有所拉動； 2020 年及之後裝置行業將從少量產線拉動變為多條產線拉動，下游需求進一步增大。從總投資額來看，下表中 2019 年所統計產線的裝置總投資額可以達到587 億元，同比增長 85%。而 2020 年裝置總投資額達到 993 億元，同比增長 70%

2019 年關鍵內資產線對中國產裝置採購量呈現增長趨勢。根據中國國際招標網資料，2019 年長江儲存、華虹系以及積塔對於北方華創裝置的採購量從 2018 年的 23 臺提升至 60 臺。而以上內資產線對中微半導體裝置採購量則從 2018 年的 12 臺提升至 20 臺，對瀋陽拓荊裝置的訂單量從2018 年的 3 臺翻倍成長至 6 臺，對華海清科的拋光裝置採購量則從 1 臺大幅提升至 7 臺。除此之外，上海微電子 2019 年也開始分別為華虹系產線供應退火裝置，為積塔半導體產線提供檢查裝置。MATTSON 和盛美半導體 2018 年與 2019 年的裝置訂單數均與去年基本持平。因此整體來看，在內資產線的拉動下，2019 年多數的中國產裝置企業的訂單量在都取得了可觀的成長。

2、三巨頭訂單量與業績雙豐收

2019 年依靠長江儲存與華虹系三條產線便可帶動中國產半導體裝置三大巨頭訂單量與業績實現可觀的成長。

長江儲存產線規劃總投資額高達 1500 億元，規劃總產能高達 30 萬片/月（分三期，每期 10 萬片）。武漢長江儲存在 2018 年達到第一階段 8K 片產能，2019 年進入產能擴張第二階段，新增 2 萬片產能（該階段裝置採購量同比明顯提升且裝置預計在 2H19-2020Q1 搬入）。 同時武漢產線預計 2020 年產能將繼續新增 3 萬片，到 2021 年月產能預計將達到 10萬片，訂單需求持續增加。

長江儲存 2019 年裝置採購總量以及中國產裝置採購量均創紀錄

長江儲存對北方華創業績拉動效應顯著，採購金額增長超過 200%，長江儲存產線 2019 年在中微半導體中的採購金額約達到 4.3 億元（同比增長 18%），收入金額增長 160%達到 5 億元。長江儲存對於其他中國產半導體裝置公司訂單量也有較大貢獻。根據中國國際招標網資料，截止到 12 月初，長江儲存 2019 年在 MATTSON（北京屹唐）共採購 1 臺快速熱退火裝置以及 1 臺介質等離子體刻蝕裝置。而瀋陽拓荊 2019 年初至今即斬獲 4 臺 PVD 裝置訂單。華海清科 2019 年至今共有 5 臺拋光裝置訂單。

2019 年全年華虹系產線採購金額為 1 億元，同比有所下降。同時華虹系對北方華創收入拉動作用明顯增長。2018/2019 收入金額分別約為 0/3.2 億元。由於收入確認晚於下達訂單約 3 個季度，因此部分2019 年訂單轉銷至 2020 年確認收入，該部分金額約為 0.22 億元。2020年及之後，隨著華虹系產線擴產提速，未來裝置需求將進一步提升。

華虹系產線 2019 年對中微裝置的採購金額大幅提升預計達到 1.4 億元，整體收入金額約與 2018 年持平。

積塔半導體2H19 開啟裝置採購，為北方貢獻超 1.5 億訂單

3、中國產裝置發展空間大

對於中國產裝置來講，目前中國產裝置廠商 IC 裝置滲透率仍有所不足，具有較大發展空間，同時企業通過高研發投入不斷開發新技術並著力推動產品驗證進度。中國產 IC 裝置產線工藝覆蓋率較低，只在細分領域有所突破，即使是國內龍頭中微半導體 CCP 刻蝕機在大陸晶圓廠市場佔比為25%。而對於另一國內裝置龍頭北方華創而言，其約有 22%的裝置已經通過產線驗證，在各條產線尤其是在 14nm 的先進產線中目前的仍有較大的滲透空間。

在下游產線方面，關鍵性裝置仍存在中國產化率不足的情況，但是刻蝕、成膜與清洗具有較大的突破潛力，並且內資產線的中國產化率正呈現提升的良好趨勢。

在裝置領域，核心的光刻、刻蝕等前道核心裝置依然被外資巨頭牢牢把控，短期內中國產想要替代有難度，但在檢測、清洗、矽片製備等領域中國產裝置已具備一定替代實力。

測試機全球市場主要由愛德萬和泰瑞達長期壟斷，長川科技、北京華峰、精測電子、華興源創等都已經佈局研發測試機，其中長川科技主要佈局在功率器件測試機並且已實現對國內封測廠的批量供貨；精測電子聯合三星供應商 IT&T，進入國記憶體儲器和麵板驅動晶片檢測裝置市場，而華興源創則主要佈局在 SOC 測試機方向，但都剛剛起步，距離突圍仍需一定時日。

目前長川科技是國內綜合能力最強的半導體測試裝置供應商，多項產品技術水平已接近國際一流。但是對比泰瑞達等國際龍頭，引數上還有一定差距，以長川科技測試機 CTA8280型號對標測試龍頭泰瑞達的 ETS88系列測試機，可發現在關鍵指標中電壓精度、電流精度仍有一定差距，但時間精度已達到國外先進技術水平。在客戶方面，長川科技研發的積體電路測試機已獲得長電科技、華天科技、通富微電、士蘭微、華潤微電子、日月光等多個一流積體電路企業的使用和認可，在測試機領域中國產化突圍較為成功。受益於半導體產業向大陸轉移，長川科技測試機在國內已實現批量銷售。

IC 裝置景氣週期將持續較長時間，裝置支出大年預計 2023 年後來臨，到來節奏變緩利好中國產裝置廠商取得更大程度的爆發。國內半導體裝置行業迎來較長的景氣度上行週期，同時國內 IC 裝置資本支出大年的到來節奏整體變緩，可以使得中國產裝置廠商在“大年”到來之前進一步完成技術產線驗證和市場滲透，從而迎接更大程度的爆發。