資料顯示，粵芯半導體成立於2017年12月，粵芯半導體的註冊資本為10億元，其中科學城（廣州）投資集團有限公司認繳出資2億元，佔股20%，廣州華盈企業管理有限公司，出資認繳3億元，佔股30%，而廣州譽芯眾誠股權投資合夥企業（有限合夥）認繳出資5億元，佔股50%，而智光電氣通過持有譽芯眾誠30%股權間接持有粵芯半導體股權。

據悉，粵芯半導體是國內第一座以虛擬IDM為營運策略的12英寸晶片製造公司，擁有廣州第一條12英寸晶片生產線，也是廣東省及粵港澳大灣區目前唯一進入量產的12英寸晶片生產平臺。

2017年12月，粵芯半導體專案一期奠基，2018年3月，樁施工，2018年10月主體結構封頂，2019年3月首批裝置搬入，2019年6月生產裝置除錯完畢開始投片，2019年9月20日正式宣告投產。

今年2月28日，粵芯半導體二期擴產專案成功簽約，二期建設將新增投資65億元，專注於65-90nm模擬工藝平臺，生產高精度數模轉換晶片、高階電源管理晶片、光學感測器、車載及生物感測晶片等產品。預計到2022年，粵芯半導體一期、二期將共達到月產4萬片12英寸的產能，將進一步滿足粵港澳大灣區晶片市場的需求。