日前，半導體裝置廠商芯源微釋出《2020年年度報告》，這也是公司登陸科創板後交出的第二份期末成績單。

財務資料顯示，受益於半導體行業景氣度持續向好，芯源微業務規模持續增長，2020年公司實現營收為3.29億元，同比增長54.30%；歸母淨利潤4882.86萬元，同比增長66.79%；總資產12.25億元，同比增長31.52%。

不過芯源微在2020年計入當期損益的政府補助達3183.42萬元的，最終公司扣非後歸母淨利潤為1287.51萬元，同比下滑13.78%。芯源微擬向全體股東每10股派發現金紅利2.00元（含稅），合計達1680萬元。

芯源微主要產品包括光刻工序塗膠顯影裝置（塗膠/顯影機、噴膠機）和單片式溼法裝置（清洗機、去膠機、溼法刻蝕機），可用於8/12英寸單晶圓處理及6英寸及以下單晶圓處理，應用領域覆蓋積體電路、化合物、MEMS、LED晶片等，截至目前裝置銷售已累計達1000餘套。

2020年，芯源微光刻工序塗膠顯影裝置板塊實現營收為2.36億元，同比增長111.43%，毛利率提升至42.89%；單片式溼法裝置實現營收為7610.45萬元，同比下滑20.26%，主要是去膠機產品收入下降所致，毛利率出現較大下滑至38.63%。

像在2020年，芯源微生產的前道塗膠顯影裝置在透過客戶端的驗證和改進後，陸續獲得了上海華力、中芯紹興、廈門士蘭集科、上海積塔、株洲中車、青島芯恩、中芯寧波、昆明京東方等多個前道大客戶訂單及應用。

芯源微生產的後道塗膠顯影裝置與單片式溼法裝置，也已經從先進封裝領域、LED領域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領域，作為主流機型應用於臺積電、長電科技、華天科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等國內一線大廠。

當然，這些成績主要來自於芯源微持續的技術研發投入。累計2020年芯源微研發投入資金達4541.47萬元，佔比總營收的13.81%。截至2020年底，芯源微共獲得專利授權195項，其中發明專利151項、實用新型專利23項、外觀設計專利21項，擁有軟體著作權47項。

透過首次公開發行股票，芯源微收到了5.66億元的募集資金淨額，投向高階晶圓處理裝置產業化專案、高階晶圓處理裝置研發中心專案，以助力高階半導體裝備國產化程序。不過因專案實施地點變更、疫情、中美貿易摩擦等因素影響，兩大募投專案已進行延期。

展望未來，芯源微表示，公司將不斷開拓新產品、新領域，有效提升公司收入和利潤規模，為股東創造價值。

其中就LED晶片領域，芯源微指出，4～6英寸化合物半導體市場正在迅速崛起，Mini LED等新一代顯示技術也在趨於成熟，這將成為未來LED行業發展的重要驅動力。

芯源微將抓緊LED晶片行業的發展方向，積極推出適用於新興領域的半導體裝置，同時公司已有產品在化合物領域、Mini LED產線上應用。