當地時間4月21日，ASML公司釋出了Q1季度財報，當季營收43.64億歐元，同比增79%，上年同期為24.41億歐元；淨利潤為13.31億歐元，同比增240%，上年同期為3.91億歐元。

ASML總裁兼執行長溫彼得表示：“我們第一季度的銷售額和毛利率均超出預期。事實上，銷售額和毛利率的增長主要受益於累積裝機管理銷售額的增長。”

Q1季度中，ASML的光刻機訂單數量還在增長，淨訂單額高達47.4億歐元，其中EUV光刻機就佔到了22.9億歐元。

雖然ASM沒有公佈有多少EUV光刻機新訂單，不過按照1億歐元的單價來算，當季至少有20臺EUV光刻機被人訂走，主要客戶也就是臺積電、三星及Intel這三家。

ASML預計2021年第二季度的淨銷售額將在40億歐元至41億歐元之間，毛利率約為49%。

至於2021年，ASML CEO表示，“和三個月前相比，我們發現所有細分市場和產品組合的需求都顯著增加，預計2021年的收入將實現30％的增長。”