晶片製造擁有七大關鍵環節,光刻便是一個十分重要的步驟,直接定義電晶體的尺寸。但是,該環節所需的光刻機,卻卡住了我國半導體領域的脖子。
在中美貿易摩擦加劇、新冠肺炎全球大流行的情況下,光刻機,這塊壓在國人心頭上的大石更顯沉重。目前,荷蘭ASML、尼康與佳能佔據了全球光刻機市場,將近99%的市場份額。
但好在面對這一境況,我國仍有不少企業在努力,點燃國產光刻機產業鏈的星星之火。
上海微電子便是其中的領頭企業,它是我國唯一一家研發、生產、銷售高階光刻機的廠商,其已經佔據了中國大陸市場80%的市場份額。
上海微電子成立於2002年,七年磨一劍,其在2007年成功突破365nm光波廠的DUV光刻技術,可用作生產90nm製程晶片。
2009年時,上海微電子的首臺先機封裝光刻機產品SSB500/10A成功交付,邁出了重要的一步。2016年時,上海微電子SSX600系列掃描投影光刻機量產,其中一款擁有90nm解析度。
對於MCU、電源管理晶片等產品的生產來說,上海微電子的光刻機已經可以勝任。
多年來,上海微電子不斷積累技術。到2020年3月份時,上海微電子直接持有的專利與專利申請量達3200多項,數量可觀。同時,上海微電子還建設智慧財產權聯盟,共享聯盟成員智慧財產權。
不過,雖然近年來上海微電子不斷進步,但是其仍無法突破先進光刻機量產。在光刻機霸主ASML的背後,是歐美高精尖科技的支援,上海微電子想要突破,可謂是“地獄級”的難度。
因此在很長時間裡,我國量產光刻機其在90nm製程,難以繼續前進。不過在今、明兩年,上海微電子似乎將有新的突破。
據方正釋出的一份研報顯示,今年12月份,我國“02專項”光刻機二期專案將驗收193nm ArF浸沒式DUV光刻機,令人矚目。
同時,還有訊息稱,明年上海微電子將突破28nm晶片製程用光刻機技術壁壘。若此訊息為真,那對我國光刻機行業來說,又是一次跨越式的進步,離先進國產晶片的生產也將更進一步。
不過,此訊息的真實性並未證實,有些遺憾。
目前,美國對中國科技企業頻繁出手,就在近日美國又將中國77家科技企業列入了“實體清單”。面對這樣的狀況,我國更應該認識到掌握核心技術的重要性。
希望國產光刻機能早日迎來曙光。