現在造臺光刻機比原子彈還難,有很多人來問憑什麼是歐洲這個小國,荷蘭造出了頂級的光刻機,一個字賭,荷蘭asml剛成立時是真的寒顫,成立之初只有31個員工,這31個員工就在飛利浦豪華玻璃大樓底下的木板平房裡辦公,跟飛利浦比一起來asml跟要飯的差不多。
苟延殘喘十來年之後,命運之神突然眷顧了這家公司。當時的光刻機市場出現了一個前所未有的瓶頸。65奈米的晶片製造工藝遲遲無法突破。原因是什麼呢?做晶片這件事兒就是在矽上用刀雕花刻字。鐳射就是那個刻字的“刀”。光源的波長數小了,刀更精緻了,能加工的晶片自然而然也就更加精細了。而全世界已經卡在193奈米很久了,寸步難行。
當時,日本雙雄選擇的技術路線是,繼續走穩健道路,採用波長更短的157奈米的鐳射光源。asml則決定破釜沉舟,壓上全部身價。押注一種更為激進的技術,那就是浸潤式光刻機。當時來自中國臺灣省的林本堅向阿斯麥提出,只要在光刻膠上加一層水,水對193奈米紫外光的折射率為1.44,193奈米不就一下變成134奈米了嗎?
於是雙方經過三年攻關,造出人類第一臺浸潤式光刻機。光刻機的市場有那麼大,這一賭,堵進了阿斯麥過去20多年的老底,賭出了阿斯麥未來20多年的底氣。現在晶片廠商用的高階光刻機,90%都是荷蘭阿斯麥生產的,臺積電與三星每年為此搶破了頭,人生又何嘗不是呢,縱使前路漫漫縱使難於登天,我們都要堅強的走下去。
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