極紫外光刻機

中國企業收購“動力沙皇”馬達西奇公司目前烏克蘭反壟斷部門還在稽核當中，嘗未成為定局，原計劃2019年12月份應該可以完成審批，已經被延遲，其中與美國的阻止不無關係，為阻止中國收購馬達西奇，美國甚至在完全沒有需求的情況下，不惜鼓動國內企業參與收購。

究其原因還是航發領域是中國的短板，同樣比較滯後的還有半導體領域，中國的半導體制造工藝比歐美要落後1-2代甚至3代，一個主要原因就是無法獲得先進的光刻機，西方國家尤其是美國盡其所能的封鎖先進的光刻機進口到中國。光刻機是半導體制造業CROWN上的明珠，隨著積體電路整合度越來越高，對光刻機的要求越來越苛刻，而這項技術如同航發一樣是中國的一個短板。

荷蘭阿斯麥公司是全球最著名的光刻機供應商，壟斷了光刻機的關鍵技術，極紫外光刻機是該公司最先進的裝置。2018年阿斯麥公司獲得荷蘭政府發放的出口中國光刻機的許可證，允許向中國一家公司出口一臺價值1.5億美元的極紫外光刻機。

阿斯麥公司製造的光刻機

這筆交易立即引起了美國的關注。美國的出口管理條例規定，任何公司只要美國製造的零件佔到25%價值，向中國出口必須獲得美國的許可。但令美國失望的是，經過審計極紫外光刻機中美國零件的價值佔比不到25%，於是美國改向荷蘭施壓。

據知情人士透露，自2018年開始，美國官員至少在四次會議中向荷蘭施壓。2019年6月美國國務卿蓬佩奧在訪問荷蘭期間，要求荷蘭政府阻止這筆交易。果然這臺先進光刻機被延遲發貨，阿斯麥公司重新申請出口許可，但沒有獲得荷蘭政府的續簽。

蓬佩奧去年6月訪問荷蘭

實際上，對阿斯麥公司來說，中國是其增長最快的市場之一。2018年來自中國公司的訂單佔該公司營收總額的20%左右，僅次於南韓公司，高於美國的16%。《日本經濟評論》認為，阿斯麥公司成為美國壓力下的“犧牲品”。

當然，無法獲得阿斯麥公司的極紫外光刻機確實對中國的半導體發展有所阻礙，但任何事物都有兩面性，正是由於這種重重阻礙，中國的科研人員在這一領域也開始了自主研發。2019年4月，武漢光電國家研究中心成功的利用二束鐳射在自研的光刻膠上突破了光束衍射極限的限制，光刻出最小9奈米線寬的線段。材料、軟體和零部件均實現中國產化，突破了三維微納光製造的國外技術壟斷。

中國通訊行業專家項立剛6日表示，中國企業之所以購買光刻機並不是完全做不出來，只是購買比研發更合算，我們完全有能力自主研發出光刻機。

不可否認的是，如果能直接購買先進的光刻機，不管從效益還是時間上都有利於中國半導體技術的發展，但即使購買不到，阻礙也是暫時的，不會讓中國的半導體發展逐步不前。航空航天、量子通訊、人工智慧以及電子技術等等，我們都是從落後到超越，並擁有了世界一流水平，光刻機技術我們同樣可以做的到。（風調雨順）