（檢測場景實拍圖）

平面度

是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。公差帶是距離為公差值t的兩平行平面之間的區域。平面度屬於形位誤差中的形狀誤差。

平面度檢測難點

目前平面度檢測的常規方法為三座標打點來進行測量，但是這種方法測量的點數（位置）少，不能多方位的反映一些工件的平面情況。另一種方法是透過三維掃描器進行平面度檢測，可以獲取全平面逐點三維資料，多方位反映平面整體平面度的情況。

三維掃描技術優勢

高精度、高解析度、高效率。三維掃描不僅掃描精度高、掃描平面度可達μ（微米）級別，還可以滿足高精度工業檢測場合。

G5三維掃描器

G5採用630萬級高畫質工業相機，進一步提升了三維資料的整體精度和細節。支援單雙軸自動轉檯，實現無標記點自動掃描；與多種機器人通訊，智慧化完成資料採集；與行動式光筆結合，解決深孔等部位的測量難題；配合紅外鐳射器定位系統，讓掃描變得更方便。目前主要適用於軍事、航空航天、精密模具、虛擬現實、文物保護等精度要求較高的行業中。

誤差區間範圍

（平面逐點偏差色譜圖）