在半導體工藝進入10nm節點之後，製造越來越困難，其中最複雜的一步——光刻需要用到EUV光刻機，而後者目前只有荷蘭ASML公司才能供應。中芯國際去年也訂購了一臺EUV光刻機， 不過前不久有訊息稱ASML停止對中芯國際供應EUV光刻機，隨後ASML公司表示不是停供，而是延期，主要是在準備該國政府的出口申請文字工作。

中芯國際是中國大陸最大的半導體制造公司，今年14nm工藝已經實現客戶風險量產，追平臺聯電14nm工藝，預計在今年底貢獻有意義的營收，明年年底實現大量出貨。

目前臺積電買下了ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺，不過量產的7nm工藝仍是基於DUV(深紫外）工藝，今年3月份才啟動7nm EUV的量產。而三星在去年就小規模投產了7nm EUV。

從中芯國際近2年晶圓收入構成來看，7nm和EUV還是太早。中芯國際目前主要的營收來自於90nm及以上工藝，2018年45/40/28nm先進工藝合計營收佔比只有14%。

2018年以前，所有65nm以下先進工藝都是依賴193nm DUV裝置製造的，臺積電正是用這套裝置率先實現了7nm量產，所以買EUV光刻機對中芯國際的意義更多在為未來產線升級提前佈局，而不是必須依賴它來上7nm。

去年5月，中芯國際向荷蘭ASML訂購了首臺EUV光刻機，價值1.2億美元，幾乎相當於該司2017年全部淨利潤。光刻機原計劃於2019年年初交付。

而在去年12月，臨近交貨時間，ASML突發大火。根據官網資訊，火災摧毀元件供應商Prodrive工廠的部分庫存、生產線，因此，2019年年初供貨情況預計將會遞延。

2019年已經臨近尾聲，EUV仍未交付至中芯，並再次面臨“延遲通知”的風險。ASML方面將此歸因於出口許可證到期。

不過，業內人士透露，這批裝置仍預計最快在 2020 年初前出貨，並且在 2020 年底前完成裝機。

近日，《BusinessKorea》等南韓媒體釋出報道，“引用”中芯國際董事長周子學博士在南韓參會時對EUV（極紫外光刻機）事宜的表態。中芯國際對此鄭重宣告，此類報道違背事實，純屬捏造。周董事長僅參加了本月“中韓工商領袖和前高官對話”內部會議環節，期間並未接受任何媒體採訪，在發言中也從未提及EUV事宜。

對於杜撰及傳播謠言的媒體和個人，公司表示強烈譴責，將保留訴諸法律追責的權利。特此宣告。