材料委天津院 前沿材料 9/16

SiC：極限功率器件的理想材料

SiC 是由矽和碳組成的化合物半導體材料，在熱、化學、機械方面都非常穩定。C 原子和 Si 原子不同的結合方式使 SiC 擁有多種晶格結構，如4H、6H、3C 等等。4H-SiC 因為其較高的載流子遷移率，能夠提供較高的電流密度，常被用來做功率器件。

▲三種不同的 SiC 結構

▲SiC 晶圓

SiC 從上個世紀70年代開始研發，2001年SiC SBD 商用，2010年 SiCMOSFET 商用，SiC IGBT 還在研發當中。隨著 6 英寸 SiC 單晶襯底和外延晶片的缺陷降低和質量提高，使得 SiC 器件製備能夠在目前現有 6英寸Si基功率器件生長線上進行，這將進一步降低SiC材料和器件成本，推進 SiC 器件和模組的普及。

▲SiC 功率器件的發展歷史

SiC 器件相對於 Si 器件的優勢主要來自三個方面：降低電能轉換過程中的能量損耗、更容易實現小型化、更耐高溫高壓。

•降低能量損耗。SiC 材料開關損耗極低，全 SiC 功率模組的開關損耗大大低於同等IGBT模組的開關損耗，而且開關頻率越高，與IGBT模組之間的損耗差越大，這就意味著對於 IGBT 模組不擅長的高速開關工作，全 SiC 功率模組不僅可以大幅降低損耗還可以實現高速開關。

•低阻值使得更易實現小型化。SiC 材料具備更低的通態電阻，阻值相同的情況下可以縮小晶片的面積，SiC 功率模組的尺寸可達到僅為 Si 的 1/10 左右。

•更耐高溫。SiC 的禁頻寬度 3.23ev，相應的本徵溫度可高達 800 攝氏度，承受的溫度相對 Si 更高；SiC 材料擁有 3.7W/cm/K 的熱導率，而矽材料的熱導率僅有 1.5W/cm/K，更高的熱導率可以帶來功率密度的顯著提升，同時散熱系統的設計更簡單，或者直接採用自然冷卻。

▲SiC 能大大降低功率轉換中的開關損耗

▲SiC 更容易實現模組的小型化、更耐高溫

SiC 產業鏈：歐美佔據關鍵位置

SiC 生產過程分為 SiC 單晶生長、外延層生長及器件製造三大步驟，對應的是產業鏈襯底、外延、器件與模組三大環節。

SiC 襯底：SiC 晶體通常用 Lely 法制造，國際主流產品正從 4 英寸向 6 英寸過渡，且已經開發出 8 英寸導電型襯底產品，國內襯底以4 英寸為主。由於現有的 6 英寸的矽晶圓產線可以升級改造用於生產 SiC 器件，所以 6 英寸 SiC 襯底的高市佔率將維持較長時間。

SiC 外延：通常用化學氣相沉積（CVD）方法制造，根據不同的摻雜型別，分為 n 型、p 型外延片。國內瀚天天成、東莞天域已能提供 4 寸/6 寸 SiC 外延片。

SiC 器件：國際上 600~1700V SiC SBD、MOSFET 已經實現產業化，主流產品耐壓水平在 1200V 以下，封裝形式以 TO 封裝為主。價格方面，國際上的 SiC 產品價格是對應 Si 產品的 5~6 倍，正以每年 10%的速度下降，隨著上游材料器件紛紛擴產上線，未來 2~3年後市場供應加大，價格將進一步下降，預計價格達到對應 Si 產品2~3 倍時，由系統成本減少和效能提升帶來的優勢將推動 SiC 逐步佔領 Si 器件的市場空間。

▲SiC 器件生產流程

▲SiC 產業鏈及主要工序

全球 SiC 產業格局呈現美國、歐洲、日本三足鼎立態勢。其中美國全球獨大，全球 SiC 產量的 70%~80%來自美國公司，典型公司是 Cree、Ⅱ-Ⅵ；歐洲擁有完整的 SiC 襯底、外延、器件以及應用產業鏈，典型公司是英飛凌、意法半導體等；日本是裝置和模組開發方面的領先者，典型公司是羅姆半導體、三菱電機、富士電機等。

▲SiC 產業鏈各環節公司

SiC 市場：汽車是最大驅動力

SiC 器件正在廣泛地被應用在電力電子領域中，典型市場包括軌交、功率因數校正電源（PFC）、風電（wind）、光伏（PV）、新能源汽車（EV/HEV）、充電樁、不間斷電源（UPS）等。根據 Yole 的預測， 2017~2023 年，SiC 功率器件市場將以每年 31%的複合增長率增長， 2023 年將超過 15億美元；而 SiC 行業龍頭 Cree 則更為樂觀，其預計短期到 2022 年，SiC 在電動車用市場空間將快速成長到 24 億美元，是 2017 年車用 SiC整體收入（700 萬美元）的 342 倍。

▲SiC 器件應用領域廣泛

▲2022 年 SiC 在電動車市場規模達到 24 億美金

SiC 是製作高溫、高頻、大功率、高壓器件的理想材料之一，技術也已經趨於成熟，令其成為實現新能源汽車最佳效能的理想選擇。與傳統解決方案相比，基於 SiC 的解決方案使系統效率更高、重量更輕及結構更加緊湊。目前 SiC 器件在 EV/HEV 上應用主要是功率控制單元、逆變器、DC-DC 轉換器、車載充電器等方面。

▲SiC 器件在四個關鍵領域提升電動汽車的系統效率

新能源車的功率控制單元（PCU）。PCU 是汽車電驅系統的中樞神經，管理電池中的電能與電機之間的流向、傳遞速度。傳統 PCU 使用矽基材料半導體制成，強電流與高壓電穿過矽制電晶體和二極體的時的電能損耗是混合動力車最主要的電能損耗來源。而使用 SiC 則大大降低了這一過程中能量損失，將傳統 PCU 配備的 Si 二極體置換成 SiC 二極體，Si IGBT 置換成 SiC MOSFET，就可以降低 10%的總能量損耗，同時也可以大幅降低器件尺寸，使得車輛更為緊湊。豐田中央研發實驗室（CRDL）和電裝公司從 1980 年代就開始合作開發 SiC 半導體材料，2014 年雙方正式釋出了基於 SiC 半導體器件的新能源汽車 PCU，是這一領域的典型代表。

▲採用 SiC 的 PCU 尺寸大大減小

▲羅姆的 SiC 賽車用逆變器明顯降低重量及尺寸

車用逆變器。SiC 用在車用逆變器上，能夠大幅度降低逆變器尺寸及重量，做到輕量化與節能。在相同功率等級下，全 SiC 模組的封裝尺寸顯著小於 Si模組，同時也可以使開關損耗降低75％（晶片溫度為 150° C）；

在相同封裝下，全 SiC 模組具備更高電流輸出能力，支援逆變器達到更高功率。特斯拉 Model 3 採用了意法半導體（後來增加了英飛凌）生產的SiC逆變器，是第一家在主逆變器中整合全SiC功率模組的車企。2017年 12 月 2 日，ROHM 為 VENTURI 車隊在電動汽車全球頂級賽事“FIAFormula E” 錦標賽第四賽季中提供了採用全 SiC 功率模組製造的逆變器，使得相對於第二賽季的逆變器尺寸下降 43%，重量輕了 6kg。

車載充電器。SiC 功率器件正在加速其在車載充電器領域的應用趨勢，在今年的功率器件展 PCIM Europe 2018（2018 年 6 月 5~7 日在德國紐倫堡舉行）上，多家廠商推出了面向 HEV/EV 等電動汽車充電器的 SiC功率器件產品。據 Yole 統計，截至 2018 年有超過 20 家汽車廠商在自家車載充電器中採用 SiC SBD 或 SiC MOSFET 器件，且這一市場在2023 年之前保持 44%的增長。

▲超過 20 家汽車製造商在車載充電器中採用 SiC