臭氧發生單元採用的玻璃介質放電技術，包含有高壓電極、接地電極及位於兩個電極之間的玻璃介質管。接地電極和介質管之間形成間隙，介質管外設有螺旋狀支撐帶，該間隙主要用於產生臭氧，且對氣流具有旋導作用；介質管和高壓電極之間形成另一間隙，高壓電極外設有金屬輔助電極，該間隙主要用於冷卻和輔助放電，並具有節流和旋氣作用。這種結構可使臭氧發生單元的臭氧濃度、產量提高，電耗降低，穩定性增強。每個臭氧發生單元一般會有1-2根介質管穿入1根接地電極管，多個臭氧發生單元並聯形成臭氧發生室。

臭氧發生室是內含單組或多組臭氧發生單元，臭氧發生單元是產生臭氧的基本部件，由介電體與被其分隔的電極和放電空間組成。

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