電感耦合等離子體光譜儀是個精密的檢測儀器，但是在國內的一般實驗室都不具備過濾塵埃、防塵的設施，所以電感耦合等離子體光譜儀需要都進行防塵處理。

當實驗室內需要採用排風機，排除儀器的熱量及工作時產生的有毒氣體時，實驗室與外部就形成壓力差，實驗室產生負壓，室外含有大量灰塵的空氣從門窗的縫隙中流入室內，大量積聚在電感耦合等離子體光譜儀的各個部位上，容易造成高壓元件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種各樣的故障，因此，ICP電感耦合等離子體光譜儀需要經常進行除塵。特別是計算機、電子控制電路、高頻發生器、顯示器、印表機、磁碟驅動器等，定期拆卸或開啟，用小毛刷清掃，並同時使用吸塵器將各個部分的積塵吸除。對光電倍增管負高壓電源線、及計算機顯示器的高壓線及接頭，還要用紗布沾上少許無水酒精小心的抹除積炭和灰塵。電感耦合等離子體光譜儀的磁碟驅動器及印表機清出灰塵之後，要在機械活動部件滴加少許儀表油。印表機的列印頭還要拆下，電感耦合等離子體光譜儀要用軟毛刷刷掃，並用絨布抹淨，防止針孔被紙屑堵塞，然後按照說明書調整一定的列印壓力。

對於儀器除塵，一般由電子，儀修或計算機的專業人員幫助，電感耦合等離子體光譜儀儀器使用或管理人員如不懂電子知識，不瞭解儀器結構，不要輕易去動，以免發生意外，除塵應事先停機並關掉供電電源下進行。