原子發射光譜法是根據處於激發態的待測原子回到基態時發射的特徵譜線對待測元素進行分析的方法。它一般是利用元素的激發態原子所發出的特徵輻射進行定性分析；利用特徵輻射的強度進行定量分析。

原子發射光譜法具有以下優點：

1、可同時檢測多種元素。樣品被激發後，樣品中不同元素均發射特徵光譜，這些特徵光譜能夠被同時記錄和測量

2、分析速度快。利用光電直讀光譜儀，可在幾分鐘內同時對幾十種元素進行定量分析。

3、檢出限低

4、準確度高

5、選擇性好

6、校準曲線動態線性範圍寬。

原子發射光譜法的不足：對於常見非金屬元素（如氧、硫、氮、鹵素等），由於其譜線位於遠紫外區，目前一般的光譜儀尚不好檢測；另外，對於磷、硒、碲等元素，其激發電位高，分析靈敏度低。

原子發射光譜儀分為三個部分：激發光源、光譜儀和檢測器。

1、激發光源 激發光源的作用是提供足夠的能量使試樣蒸發、原子化、激發、產生光譜。對激發光源的要求是：靈敏度高、穩定性好、光譜背景小、結構簡單、操作安全。光源的特性在很大程度上影響著光譜分析的準確度、精密度和檢出限。目前常用的有直流電弧、電火花及電感耦合等離子體等。電感耦合等離子體（ICP光源）主要由高頻發生器、等離子矩管、霧化器等三部分組成。

2、光譜儀 作用是將光源發射的電磁輻射經色散後，得到按波長順序排列的光譜，並對不同波長的輻射進行檢測與記錄。按照色散元件的不同，分為稜鏡光譜儀和光柵光譜儀。

3、檢測系統 作用是檢測分析