上個世紀三十年代，為了突破光學顯微鏡的分辨極限，人們想到用電子束做照明束，並製造出了第一臺掃描電子顯微鏡。由於不能獲得高解析度的樣品表面電子像，掃描電子顯微鏡一直得不到發展，只能在電子探針X射線微分析儀中作為一種輔助的成像裝置。

自從1965年，英國劍橋儀器公司生產出第一臺商品掃描電鏡以來，經過50多年的不斷改進，掃描電鏡的解析度從第一臺的25nm提高到現在的0.01nm，而且大多數掃描電鏡都能與X射線波譜儀、X射線能譜儀等組合，成為一種對錶面微觀世界能夠經行全面分析的多功能電子顯微儀器。

掃描電子顯微鏡英文名scanning electron microscope, 通常稱SEM)。是一種用於高解析度微區形貌分析的大型精密儀器 。具有景深大、解析度高, 成像直觀、立體感強、放大倍數範圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉和傾斜等特點。對樣品進行觀察的同時可獲得樣品的形貌、結構、成分和結晶學資訊等。目前, SEM已被廣泛應用在材料檢測及研發、化學及物理學研究、生命科學探索以及工業生產等領域。

掃描電子顯微鏡

下面我們就來欣賞掃描電子顯微鏡下的微觀世界吧！

蝕刻矽表面微觀形貌

鈉米晶-FeO(OH)微觀形貌

纖維表面銀鈉米顆粒表面微觀形貌

陶瓷表面微觀形貌

聚苯乙烯球上金奈米顆粒

介孔矽微觀形貌

含銀奈米顆粒的沸石

泡沫鎳材料微觀形貌

鍵盤上磁性奈米顆粒微觀形貌

Fe3O4/ZrO2複合奈米複合材料微觀形貌

釹鐵錋斷口微觀斷口形貌

小鼠肺部切片

昆蟲腿微觀形貌

大豆根瘤切片微觀形貌

血小板微觀形貌