同7nm和5nm工藝一樣，臺積電正在按計劃推進的3nm工藝，也會有第二代，也就是他們所說的3nm Plus工藝。

在最近3個季度的財報分析師電話會議上，臺積電CEO魏哲家都有談到3nm工藝，他表示進展順利，計劃在2021年風險試產，2022年下半年大規模量產。

就與3nm工藝量產的時間間隔而言，3nm Plus工藝在2023年推出，同7nm和5nm工藝中的兩代在時間間隔方面是一致的。臺積電的7nm工藝在2018年4月量產，第二代在次年推出，5nm工藝在今年一季度量產，第二代計劃在明年量產，這兩項工藝的第二代，都是在第一代量產的後一年推出。

目前還不清楚臺積電第二代3nm工藝的細節資訊，但可以遇見的是，電晶體的密度、能耗、效能指標較第一代會有提升。