即使是有來自美國四面八方的刁難，中國芯的程序仍是排除萬難地朝前邁進，日前臺積電頂住了來自美方的壓力，持續為華為代工，Arm 也強調會繼續提供華為新一代 V9 架構技術，然而，日前又有一道挑戰關卡從天而降。

外媒披露，歐洲最大裝置商，同時也是全球光刻機龍頭荷商 ASML 因為出口許可（export license）尚未獲得荷蘭政府的核準和發放，導致關鍵機臺極紫外光刻機（EUV）無法如期交貨給中國客戶。ASML 強調是一視同仁對待全球客戶，但此問題卡在法律程式上，目前尚在等待出口許可的核準。

(圖：ASML 官網)

ASML 是全球唯一可以供應 EUV 光刻機的半導體裝置大商，EUV 光刻機主要是用在 7nm 以下工藝，一臺要價一億歐元，ASML 一年也頂多生產約 20 臺，客戶若有需求，要提前 1~2 年來預訂，而目前臺積電與三星都已經匯入 EUV 光刻機來實現 7nm 工藝晶片的量產。因為 EUV 光刻機牽涉到全球最高階工藝晶片技術的生產，ASML 在向中國出口這類裝置之前，需要拿到政府發放的出口執照和核準。ASML 針對 EUV 這類裝置機臺的出口執照，需要定期更新和延長，公司在 2019 年 7 月之前，已提前提出申請，但出口執照一直未發放下來，因此被動地無法將 EUV 機臺出貨給中國客戶，但 ASML 強調，無法透露客戶下單和交貨的具體時程。

（圖：DeepTech）

EUV 光刻機是否可如期交貨，牽涉到中芯國際在高階工藝技術的佈局與時程。中芯國際在投資人會議上已經披露高階技術的“三支箭”，分別為 14nm FinFET 工藝技術進入風險試產、12nm 工藝技術有客戶進行流片，以及對於第二代 FinFET 技術 N+1 工藝的佈局。業內認為，中芯在 14nm 和12nm工藝節點上還用不到 EUV，2018 年下單預定 EUV光刻機是為了 N+1 工藝做準備，一般來說，這個工藝節點應該是 7nm 左右，但中芯並未披露第二代的 FinFET 技術是否定義在 7nm，也有可能是 8nm，但這都只是命名問題了。半導體的微縮路線過去遵循摩爾定律，每一代工藝線寬會較上一代縮小 0.7 倍，因此從 90nm、65nm、45nm、32nm 都是遵循此定律的邏輯，但這樣的步伐在 20nm 以下打破，摩爾定律放緩後，線寬微縮也無法像以前一樣，臺積電和三星開始分裂為 16nm 和 14nm，之後的工藝命名已經淪為宣傳和營銷戰。中芯在高階工藝上是猛烈追趕，一方面肩負國內高階製造的使命，另一方面，其競爭對手已經“打到家門口”，臺積電在南京設立的 12 寸廠可以生產 16nm 和 12nm 技術，使得中芯必須更積極投入在高階技術的研發上。

美國自 2018 年以來，針對中國一些關鍵企業和技術不斷祭出禁令。2018 年 4 月，中興通訊被禁止採購美國的零元件和軟體，緊接著 11 月，國內 DRAM 廠商福建晉華被美國一紙禁令掐熄了正要進入生產的 DRAM 晶片火苗。到了 2019 年 5 月，美國把目標瞄準 5G 技術超前的華為，限制美國零元件供應商、 Google、Arm 等暫停對華為提供技術。一直維持對華為代工晶片的臺積電，雖然挺下來了，但之後是紛擾不斷，包括臺積電可能礙於美方壓力下，快速與競爭對手 GlobalFoundries 達成十年專利互相授權的和解官司。

（圖：DeepTech）

近期，美國不斷釋放出希望臺積電到美國設廠的資訊，因為很多國防用晶片過去是 IBM 生產，現在 GlobalFoundries 接手 IBM 資產後，無法繼續 7nm 以下到高階技術，美國以國防安全為由，一直要臺積電赴美設廠。臺積電知道這場“邀約”的兩難和敏感之處，赴美設立晶圓廠是不符合成本考量的，加上臺積電善於管理集中生產，不擅遠端管理，自然不會想去。但是，未來若持續幫華為代工晶片，來自美方的壓力勢必不會間斷，雖然臺積電暫時以成本為由拒絕“邀約”，但業內人士觀察，未來臺積電赴美設廠的機率仍是有的，畢竟這是一個對當前局勢的妥協之道，無法從商業利益來衡量。

在美國對華為下重手之後，業內非常擔心半導體機臺裝置和材料，會成為下一個被制裁的環節。即使國內已有中微半導體、北方華創等裝置供應商，但半導體機臺和材料的精密和專業分工的程度，短時間內不可能達成 100% 中國產化目標，尤其是 EUV 光刻機，全球居然只剩下 ASML 一家有能力生產。這次 ASML 無奈又被迫地無法如期出貨 EUV 機臺給中芯，關鍵是在荷蘭政府的出口批准上， 究竟當中的考慮為何？是礙於美國“暗中出手”，還是另有隱情？業內都在探尋。如果 ASML 的 EUV 機臺一直無法獲得進入中國的批准和稽核，這恐怕是繼華為禁令之後，國內科技產業的另一波“巨浪”來襲。如果連歐洲裝置商的商業行為都受到政治干預，那未來美商、日商等裝置大廠是否也會面臨同樣的狀況。然而，日前美國商務部長才釋出中美可望在 11 月達成第一階段的貿易協議，並且預計“很短期內”將發出美國企業出售零元件給華為的出口許可，看似雙方關係將進入好的方向發展。但同時，美國又不斷找臺積電“喝咖啡”力邀赴美設廠，而臺積電的製造力挺，恰巧是華為的關鍵命脈。另一方面又發生 ASML 的關鍵 EUV 機臺無法進入中國的問題，這又緊繫著中芯國際的高階工藝技術發展程序，這讓人對於當前的局勢有著霧裡看花，既期待緊張關係鬆綁，但又怕預期落空的矛盾心情。