大家應該都知道,在全球光刻機制造領域,荷蘭巨頭ASML壟斷全球多年。所以無論是臺積電還是三星,想要繼續深耕晶片製造高精度工藝,就必須從ASML處搶購高階EUV光刻機。
但晶片製造是一項非常複雜的工作,一顆晶片要想從PPT到成品,核心裝置並非光刻機一種,刻蝕機的重要性也不容小覷。可能大部分分不清,光刻機和刻蝕機的區別,簡單地講,光刻機把電路圖投影到覆蓋有光刻膠的矽片上面,刻蝕機則是將畫了電路圖的矽片上的多餘電路圖腐蝕掉。
打個比方,如果光刻機是照相機,那麼刻蝕機就是顯影裝置。由此可見,晶片在製造過程中,刻蝕機的作用並不次於光刻機。雖說在半導體裝置領域當中,中國光刻機的技術水準相比海外要晚好幾代,但目前刻蝕機是我國最具有優勢的半導體裝置領域。資料顯示,我國蝕刻裝置的國產化率已經達到20%以上,而且國產蝕刻機的市場規模也在隨著中國半導體市場規模的擴張不斷提升。
不僅如此,全球第一家成功研製出5nm精度刻蝕機的企業就是中微半導體,該公司的刻蝕機已經透過臺積電驗證,將被應用於臺積電5nm生產線。除此之外,聯華電子、SK海力士等行業巨頭也是中微半導體的客戶。如果說中微半導體打破國外技術壟斷是中國刻蝕機的龍頭企業,那麼接下來這家國產刻蝕機企業也正在崛起。
去年12月份,北方華創還曾公開表態,ICP等離子刻蝕機交付突破1000腔。這種刻蝕機對實現客戶端28nm國產化替代,並在14nm、7nm SADP/SAQP、先進儲存器、3D TSV等工藝應用中發揮著重要作用。
據悉,北方華創的主要產品包括刻蝕機、PVD、CVD、ALD、清洗機、立式爐、外延爐等,其中刻蝕裝置已經覆蓋積體電路、LED、先進封裝、功率半導體、MEMS微機電系統、化合物半導體、矽基微顯、分析儀器、功率器件、光通訊器件等多個領域,矽刻蝕機已突破14nm技術,進入主流晶片代工廠。
值得一提的是,在LED領域,北方華創的蝕刻機、PVD以及CVD裝置全球出貨第一,LED晶片國產替代率超過90%。由此來看,北方華創對中國晶片產業的發展非常重要。或許正是北方華創的半導體裝置種類豐富,才能成為中國半導體產業的重要支柱,才能在近兩年時間裡公司的營收和利潤屢創新高。
根據北方華創2020年的業績報告顯示,北方華創的淨利潤為4.6億元-5.8億元,同比增長48.85%-87.68%。北方華創之所以能取得這樣的成績,一方面是公司下游業務需求旺盛,且復工復產比較早;另一方面得益於中國半導體市場的良好前景,北方華創不斷擴大產能增加競爭優勢。
總之,中國半導體產業要想長足發展,就必須加強整個產業鏈的研發,這其中就包括光刻機、刻蝕機、EDA軟體等。正所謂,千里之行始於足下,相信用不了三五年中國半導體產業將煥然一新。