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近幾年,芯片行業出現了全球缺芯問題,各大晶圓廠紛紛投資建廠擴大產能,光刻機需求迅速增大。這讓ASML獲得了較快發展,業績大漲的同時,關注度也越來越高。

然而,ASML也並不是一帆風順,陸續遇到了柏林工廠火災、氯氣供應不足、蔡司鏡頭產量跟不上等種種問題。近日又有兩個問題出現,外媒表示:ASML的拐點出現了!

EUV光刻機遇到問題

我們都知道,全球目前僅有3個國家、4家企業能夠生產前道光刻機,分別是荷蘭的ASML、日本的尼康和佳能、中國的上海微電子,但只有ASML一家能夠生產EUV。

EUV光刻機,稱為極紫外光刻機,波長達到了13.5nm,工藝極其複雜。晶圓廠生產7 nm-3nm製程芯片就要用到它,生產2 nm-1nm製程芯片就要用到更先進的EUV。

可以說,ASML光刻機的發展程度,決定著目前全球晶圓廠製程微縮能達到的程度。

由於EUV技術的複雜性,出貨10多年總共才140多臺,為此,ASML計劃擴大產能,希望到2025年時達到年出貨90臺EUV。同時,進一步推進下一代High-NA EUV。

然而,事情似乎並不會像計劃那麼順利。芯片行業整體已開始出現下行趨勢,臺積電陸續遭遇砍單,於是計劃年底前關閉4臺EUV,這或許將對EUV的出貨產生影響。

另外,英偉達CEO開始吐槽摩爾定律結束了,原因是現在先進製程芯片成本過高了。

EUV光刻機走到盡頭

高端芯片成本過高跟EUV關係很大,一臺EUV約1.2億美元,High-NA EUV約4億美元。不僅EUV光刻機的成本越來越高,關鍵是耗電也非常多,High-NA EUV將更多。

鑑於這些情況,近日ASML首席技術官透露,High-NA EUV或將是最後一代EUV了。

因為EUV數值孔徑為0.33,High-NA EUV達到了0.55,接下來可能是Hyper-NA。但再往下發展的話,不僅技術難以突破,製程和使用成本就過於高了,恐怕不太可行。

成本是不得不面對的一個重要問題,摩爾定律的意思是芯片性能每隔2年提升一倍,同時價格下降為之前的一半。但這個情況,貌似從28nm製程以後就不一樣了。

因此,28nm被認為是芯片性能和成本的最佳結合點。臺積電應該也深有體會,隨著製程的前進,使用先進製程的客戶越來越少,5nm就比7nm的客戶少,3nm會更少。

臺積電3nm初代工藝N3先後被英特爾和蘋果放棄,最重要的原因就是成本過高了。

超越EUV替代品出現

最近,英偉達新產品上市,性能雖然提升明顯,但價格上漲卻被非議。為此,CEO黃仁勳直言摩爾定律結束了。這種情況將會越來越多,臺積電和ASML不得不面對。

尤其是ASML, EUV未來如何發展恐怕得好好思考了。不過,還不僅僅是這個問題。

近日,有媒體傳出消息,一家叫Zyvex Labs的美企宣佈,他們突破了全球分辨率最高的亞納米分辨率光刻系統,可以不用EUV光刻機,就能製造出0.768nm的芯片。

按照發布的信息介紹,該方式基於STM掃描隧道顯微鏡,使用的是電子束光刻(EBL)方式,精度遠超EUV光刻機。ASML的High-NA EUV,最高也難以突破1nm的極限。

問題是人家這款產品並不是實驗室產品,而已經可以接受預定,6個月後即可交貨。

那麼,ASML這是要被超越了嗎?壓力肯定不小,不過,美企的這款設備技術也有缺陷,那就是不太適合量產,也就是產量極低,只適合製作那種小量的高精度芯片等產品。

但這並不表示ASML就可以高枕無憂了,要知道科技是一直在向前發展的,說不定什麼時候就可以解決量產的問題,就像現在突然出現了可製造1nm以下芯片技術。

ASML還得面對EUV可能到終點或被替代的問題,為此外媒才說ASML拐點出現了!

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