現在主流的鏡片鍍膜機是電子槍蒸發式的 在真空條件下，使用電子槍發射電子，熔化材料，形成高能量的材料分子發射，最後沉積在鏡片表面。

控制膜的厚度一般有2種，水晶震動子控制利用震動頻率控制，光電極值法光學控制。

抽空時間相同，而真空度偏低，這時候關閉主閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏，應先查出漏點。

如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，重點查找真空泵及閥門看哪裡出現洩漏，或是擴散泵油汙染或氧化；或前級管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化，軸封漏油等。

漏--分內漏和外漏，較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點。

查找小漏和微漏：利用在高真空狀態下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩定了--也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然後再噴射。最好是反復幾次，確認漏點。

內漏多發生在有水冷套的設備上，查外漏沒有發現疑點，但是卻有以下現象：

機械泵的抽速明顯偏低、真空計示值低、機械泵油很快乳化、真空室內的鐵基零部件明顯鏽蝕。具備以上條件基本可以確定有內漏。