1.靈敏度高

由於新的顯色劑的大量合成，並在應用研究方面取得了可喜的進展，使得對元素測定的靈敏度有所推進，特別是有關多元絡合物和各種表面活性劑的應用研究，使許多元素的摩爾吸光係數由原來的幾萬提高到數十萬。

2.選擇性好

目前已有些元素只要利用控制適當的顯色條件就可直接進行光度法測定，如鈷、鈾、鎳、銅、銀、鐵等元素的測定，已有比較滿意的方法了。

3.準確度高

對於一般的分光光度法，其濃度測量的相對誤差在1～3%範圍內，如採用示差分光光度法進行測量，則誤差可減少到0.X%。

4.適用濃度範圍廣

可從常量(1%～50%)(尤其使用示差法)到痕量(10-8～10-6%)(經預富集後)。

5.分析成本低、操作簡便、快速、應用廣泛

由於各種各樣的無機物和有機物在紫外可見區都有吸收，因此均可藉此法加以測定。到目前為止，幾乎化學元素週期表上的所有元素(除少數放射性元素和惰性元素之外)均可採用此法。

EDS與wds優缺點

1檢測效率

能譜儀中鋰漂移硅探測器對X射線發射源所張的立體角顯著大於波譜儀，所以前者可以接受到更多的X射線；其次波譜儀因分光晶體衍射而造成部分X射線強度損失，因此能譜儀的檢測效率較高。

2空間分析能力

能譜儀因檢測效率高可在較小的電子束流下工作，使束斑直徑減小，空間分析能力提高。目前，在分析電鏡中的微束操作方式下能譜儀分析的最小微區已經達到毫微米的數量級，而波譜儀的空間分辨率僅處於微米數量級。

3能量分辨本領

能譜儀的最佳能量分辨本領為149eV，波譜儀的能量分辨本領為0.5nm，相當於5-10eV，可見波譜儀的分辨本領比能譜儀高一個數量級。

4分析速度

能譜儀可在同一時間內對分析點內的所有X射線光子的能量進行檢測和計數，僅需幾分鐘時間可得到全譜定性分析結果；而波譜儀只能逐個測定每一元素的特徵波長，一次全分析往往需要幾個小時。

5分析元素的範圍

波譜儀可以測量鈹(Be)-鈾(U)之間的所有元素，而能譜儀中Si(Li)檢測器的鈹窗口吸收超輕元素的X射線，只能分析納（Na）以上的元素。

6可靠性

能譜儀結構簡單，沒有機械傳動部分，數據的穩定性和重現性較好。但波譜儀的定量分析誤差（1-5%）遠小於能譜儀的定量分析誤差（2-10%）。

7樣品要求

波譜儀在檢測時要求樣品表面平整，以滿足聚焦條件。能譜儀對樣品表面沒有特殊要求，適合於粗糙表面的成分分析。根據上述分析，能譜儀和波譜一各有特點，彼此不能取代。近年來，常將二者與掃描電境結合為一體，實質在一臺儀器上實現快速地進行材料組織結構成分等資料的分析。